[实用新型]掩膜板异物检测设备有效
| 申请号： | 201920158639.0 | 申请日： | 2019-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN209263906U | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 彭兆基;蒋明华 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01N21/95;G01N21/956;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 成珊 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 掩膜板 异物 检测装置 异物检测设备 被检测面 承接平台 检测 本实用新型 压延 区域移动 上方移动 所在平面 异物检测 误判 平行 | ||
1.一种掩膜板异物检测设备，其特征在于，包括：
承接平台，用于放置掩膜板；
检测装置，设置于所述承接平台所在平面的上方，通过在掩膜板的被检测面区域移动以检测所述掩膜板上是否存在异物。
2.根据权利要求1所述的掩膜板异物检测设备，其特征在于，所述检测装置包括：
至少一个第一激光测高仪，设置在第一移动装置上并可沿着所述被检测面的横坐标移动，并朝向所述掩膜板发射第一激光，检测突出于所述被检测面上的异物。
3.根据权利要求2所述的掩膜板异物检测设备，其特征在于，所述第一移动装置设置在高度调节装置上，通过所述高度调节装置调节所述第一激光与所述被检测面之间的距离。
4.根据权利要求2所述的掩膜板异物检测设备，其特征在于，所述检测装置还包括：
至少一个第二激光测高仪，设置在第二移动装置上并可沿着所述被检测面的纵坐标移动，并朝向所述掩膜板发射第二激光，所述第二激光和所述第一激光相互垂直，所述检测装置通过在掩膜板的被检测面区域移动用以检测所述掩膜板上异物的位置信息。
5.根据权利要求4所述的掩膜板异物检测设备，其特征在于，所述第二移动装置设置在高度调节装置上，通过所述高度调节装置调节所述第二激光与所述被检测面之间的距离。
6.根据权利要求5所述的掩膜板异物检测设备，其特征在于，所述第一激光测高仪和所述第二激光测高仪的移动路径分别与所述掩膜板上预设的X轴和Y轴平行。
7.根据权利要求1所述的掩膜板异物检测设备，其特征在于，所述承接平台的上表面尺寸与所述掩膜板的尺寸相同。
8.根据权利要求7所述的掩膜板异物检测设备，其特征在于，所述承接平台为柱形，所述承接平台侧壁卡入掩膜板框架内，所述掩膜板框架用于固定所述掩膜板。
9.根据权利要求1-8任一所述的掩膜板异物检测设备，其特征在于，还包括：
摄像装置，设置于所述掩膜板的上方区域，用于对所述掩膜板上的所述异物进行拍照。
10.根据权利要求9所述的掩膜板异物检测设备，其特征在于，所述摄像装置为工业照相机。
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