[实用新型]晶锭纵向切割辅助装置有效

专利信息
申请号: 201920166462.9 申请日: 2019-01-30
公开(公告)号: CN209616068U 公开(公告)日: 2019-11-12
发明(设计)人: 赵延祥 申请(专利权)人: 宁夏银和半导体科技有限公司
主分类号: B28D7/00 分类号: B28D7/00;B28D5/00
代理公司: 宁夏合天律师事务所 64103 代理人: 孙彦虎
地址: 750021 宁夏回*** 国省代码: 宁夏;64
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摘要:
搜索关键词: 进给平台 纵向切割 晶棒 晶锭 单晶硅 调节丝杠 支撑平台 进给量调整 辅助装置 转动调节 丝杠 机台 本实用新型 滑动连接 加工设备 螺纹连接 前后移动 直立固定 主动进给 转动连接 组件包括 垂直度 平行度 硅料 截割 进给 种晶 成功率 贯穿
【权利要求书】:

1.一种晶锭纵向切割辅助装置,其特征在于,包括基座、晶锭支撑平台及进给量调整组件,所述基座连接晶锭截断机,所述进给量调整组件滑动连接于所述基座上,所述晶锭支撑平台固定于所述进给量调整组件的一端;

所述进给量调整组件包括进给平台及调节丝杠,所述进给平台滑动连接于所述基座上,所述调节丝杠沿水平方向贯穿通过所述进给平台,且一端转动连接于所述基座上,所述晶锭支撑平台固定于所述进给平台的一端;

所述调节丝杠螺纹连接所述进给平台,转动所述调节丝杠,带动所述进给平台前后移动。

2.如权利要求1所述的晶锭纵向切割辅助装置,其特征在于,所述进给量调整组件还包括晶片靠板,所述晶片靠板可拆卸安装于所述进给平台上,且与所述晶锭支撑平台相切。

3.如权利要求2所述的晶锭纵向切割辅助装置,其特征在于,所述晶片靠板靠近所述晶锭支撑平台的一侧开设有弧形晶片槽。

4.如权利要求1~3中任意一项所述的晶锭纵向切割辅助装置,其特征在于,所述基座上沿水平方向开设有定向滑槽,所述进给平台的底部设置有条形滑块,所述条形滑块卡合滑动连接于所述定向滑槽中。

5.如权利要求4所述的晶锭纵向切割辅助装置,其特征在于,所述调节丝杠远离所述晶锭支撑平台的一端设置有把手。

6.如权利要求5所述的晶锭纵向切割辅助装置,其特征在于,所述基座的两侧开设有螺孔,以通过螺母将所述基座固定于晶锭截断机上。

7.如权利要求5或6所述的晶锭纵向切割辅助装置,其特征在于,所述进给平台的侧面设置有标准刻度。

8.如权利要求1~3或5~6中任意一项所述晶锭纵向切割辅助装置,其特征在于,所述晶锭支撑平台采用硬质树脂材料。

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