[实用新型]晶锭纵向切割辅助装置有效
申请号: | 201920166462.9 | 申请日: | 2019-01-30 |
公开(公告)号: | CN209616068U | 公开(公告)日: | 2019-11-12 |
发明(设计)人: | 赵延祥 | 申请(专利权)人: | 宁夏银和半导体科技有限公司 |
主分类号: | B28D7/00 | 分类号: | B28D7/00;B28D5/00 |
代理公司: | 宁夏合天律师事务所 64103 | 代理人: | 孙彦虎 |
地址: | 750021 宁夏回*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 进给平台 纵向切割 晶棒 晶锭 单晶硅 调节丝杠 支撑平台 进给量调整 辅助装置 转动调节 丝杠 机台 本实用新型 滑动连接 加工设备 螺纹连接 前后移动 直立固定 主动进给 转动连接 组件包括 垂直度 平行度 硅料 截割 进给 种晶 成功率 贯穿 | ||
1.一种晶锭纵向切割辅助装置,其特征在于,包括基座、晶锭支撑平台及进给量调整组件,所述基座连接晶锭截断机,所述进给量调整组件滑动连接于所述基座上,所述晶锭支撑平台固定于所述进给量调整组件的一端;
所述进给量调整组件包括进给平台及调节丝杠,所述进给平台滑动连接于所述基座上,所述调节丝杠沿水平方向贯穿通过所述进给平台,且一端转动连接于所述基座上,所述晶锭支撑平台固定于所述进给平台的一端;
所述调节丝杠螺纹连接所述进给平台,转动所述调节丝杠,带动所述进给平台前后移动。
2.如权利要求1所述的晶锭纵向切割辅助装置,其特征在于,所述进给量调整组件还包括晶片靠板,所述晶片靠板可拆卸安装于所述进给平台上,且与所述晶锭支撑平台相切。
3.如权利要求2所述的晶锭纵向切割辅助装置,其特征在于,所述晶片靠板靠近所述晶锭支撑平台的一侧开设有弧形晶片槽。
4.如权利要求1~3中任意一项所述的晶锭纵向切割辅助装置,其特征在于,所述基座上沿水平方向开设有定向滑槽,所述进给平台的底部设置有条形滑块,所述条形滑块卡合滑动连接于所述定向滑槽中。
5.如权利要求4所述的晶锭纵向切割辅助装置,其特征在于,所述调节丝杠远离所述晶锭支撑平台的一端设置有把手。
6.如权利要求5所述的晶锭纵向切割辅助装置,其特征在于,所述基座的两侧开设有螺孔,以通过螺母将所述基座固定于晶锭截断机上。
7.如权利要求5或6所述的晶锭纵向切割辅助装置,其特征在于,所述进给平台的侧面设置有标准刻度。
8.如权利要求1~3或5~6中任意一项所述晶锭纵向切割辅助装置,其特征在于,所述晶锭支撑平台采用硬质树脂材料。
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