[实用新型]减薄机吸盘结构

权利要求书

1.一种减薄机吸盘结构，用于固定硅片，其特征在于，包括基体和吸附部，所述吸附部设置在所述基体上，所述基体的第一面上设置有第一安装槽，所述吸附部的一部分嵌入到所述第一安装槽内，所述吸附部位于所述第一安装槽外侧的部分上形成有吸附面，所述吸附面用于吸附所述硅片，所述吸附面的尺寸小于所述硅片的尺寸，所述吸附面高于所述第一面。

2.根据权利要求1所述的减薄机吸盘结构，其特征在于，所述吸附部与所述第一安装槽的侧壁之间形成密封结构。

3.根据权利要求2所述的减薄机吸盘结构，其特征在于，所述吸附部与所述第一安装槽的侧壁之间设置防漏胶。

4.根据权利要求1所述的减薄机吸盘结构，其特征在于，所述吸附面与所述第一面之间的高度差为1.4mm至1.6mm。

5.根据权利要求1所述的减薄机吸盘结构，其特征在于，所述吸附部由微孔陶瓷构成。

6.根据权利要求1所述的减薄机吸盘结构，其特征在于，所述基体的第二面上形成有第二安装槽，所述第二安装槽用于与抽真空设备连接，所述第二安装槽与所述第一安装槽连通。

7.根据权利要求6所述的减薄机吸盘结构，其特征在于，所述第一安装槽和所述第二安装槽之间设置有连通孔，所述连通孔设置有一个或多个。

8.根据权利要求1-7之一所述的减薄机吸盘结构，其特征在于，所述基体上设置有安装部，所述安装部用于所述基体的安装。

9.根据权利要求8所述的减薄机吸盘结构，其特征在于，所述安装部所在的位置厚度小于所述第一面所在的位置的厚度，使得所述第一面与所述安装部的连接处形成阶梯面。

10.根据权利要求8所述的减薄机吸盘结构，其特征在于，所述安装部还包括安装孔，所述安装孔用于连接件的安装。