[实用新型]一种单晶炉用加热器有效
| 申请号： | 201920177132.X | 申请日： | 2019-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN209779041U | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 潘燕萍;朱海军 | 申请（专利权）人： | 常州市乐萌压力容器有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 32294 常州市华信天成专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 何学成 |
| 地址： | 213000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 加热器 单晶炉 加热器主体 加热单元 轴向温度梯度 本实用新型 硅单晶制备 降低功率 使用寿命 位置下移 温度降低 圆弧片 侧壁 对拉 减薄 炉室 熔体 | ||
【权利要求书】：
1.一种单晶炉用加热器，包括加热器主体(11)和加热器脚(13)，其特征在于：所述加热器主体(11)由若干加热单元(12)组成，所述加热单元(12)含有减薄形的圆弧片(14)。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉用加热器，其特征在于：所述加热器主体(11)向加热器脚(13)的径向方向为正方向，所述圆弧片(14)厚度沿正方向逐渐减薄。
3.根据权利要求1或2所述的一种单晶炉用加热器，其特征在于：所述圆弧片(14)总电阻与未减薄部分总电阻比大于等于1:2.5且小于等于1:3.3。
4.根据权利要求1所述的一种单晶炉用加热器，其特征在于：所述圆弧片(14)为半圆或半椭圆，所述圆弧片(14)的圆心落在加热单元(12)的中轴线上。
5.根据权利要求1所述的一种单晶炉用加热器，其特征在于：所述加热器主体(11)和加热器脚(13)是可拆卸的连接。
6.根据权利要求1所述的一种单晶炉用加热器，其特征在于：所述加热单元(12)的每条内边(15)和外边(16)都是平行的。
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