[实用新型]曝光组件及曝光装置有效
| 申请号： | 201920180119.X | 申请日： | 2019-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN209311854U | 公开（公告）日： | 2019-08-27 |
| 发明（设计）人： | 汤朝元;宁鹏飞;王晓鹏 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 曝光组件 抽气头 曝光灯 汞蒸气 聚光 反光镜 反光曲面 支撑架 曝光装置 可移动 反光 溢出 本实用新型 可移动设置 抽气系统 光线聚集 移动设置 焦点 曝光 伤害 | ||
1.一种曝光组件，其特征在于，包括：
支撑架；
反光镜，设置于所述支撑架上，所述反光镜包括用于将光线聚集于预定焦点的反光曲面；
曝光灯，设置于所述反光曲面和所述预定焦点之间，所述曝光灯内包括汞蒸气；
抽气系统，包括至少一个抽气头，所述至少一个抽气头设置于所述曝光灯远离所述反光镜的一侧，且在所述反光曲面的聚光路径的内外可移动设置。
2.根据权利要求1所述的曝光组件，其特征在于，所述抽气系统包括多个抽气头，多个所述抽气头设置在同一水平面。
3.根据权利要求1所述的曝光组件，其特征在于，所述抽气系统包括多个抽气头，其中，每个所述抽气头具有弧形结构，且弧形抽气头首尾接触时形成环形。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的曝光组件，其特征在于，所述抽气系统还包括抽气管道，所述抽气管道包括总管道及与所述总管道相连通的至少一个分支管道，所述抽气头与所述分支管道一一对应，且可伸缩地设置在对应的所述分支管道中。
5.根据权利要求4所述的曝光组件，其特征在于，所述抽气系统还包括气体处理结构，且所述气体处理结构设置在所述抽气管道中，用于吸收和/或吸附所述汞蒸气。
6.根据权利要求5所述的曝光组件，其特征在于，所述气体处理结构呈网状。
7.根据权利要求4所述的曝光组件，其特征在于，所述抽气系统还包括抽气泵和储存罐，所述抽气泵设置于所述抽气管道上，所述储存罐连接所述抽气管道；
其中，所述储存罐设置有冷却结构，和/或所述储存罐的内部设置有气体处理结构，用于吸收和/或吸附所述汞蒸气。
8.根据权利要求5-7中任一项所述的曝光组件，其特征在于，所述气体处理结构包括气体处理材料，所述气体处理材料包括活性炭和/或硫单质。
9.根据权利要求1所述的曝光组件，其特征在于，还包括感应装置，所述感应装置设置在所述支撑架、所述曝光灯、所述抽气系统中的至少一个上。
10.一种曝光装置，其特征在于，包括如权利要求1-9中任一项所述的曝光组件。
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