[实用新型]曝光组件及曝光装置

说明书

本实用新型涉及一种曝光组件及曝光装置，其中，曝光组件包括：支撑架；反光镜，设置于支撑架上且包括反光曲面，反光曲面用于将光线聚集于预定焦点；曝光灯，设置于反光曲面和预定焦点之间，曝光灯内包括汞蒸气；抽气系统，包括至少一个抽气头，至少一个抽气头设置于曝光灯远离所述反光镜的一侧，且在反光曲面的聚光路径的内外可移动设置。上述曝光组件，包括至少一个抽气头，并可在反光曲面的聚光路径内外可以移动设置。当反光镜内的曝光灯发生爆灯时，抽气头可移动至聚光路径内，在有害的汞蒸气溢出支撑架之前，将汞蒸气抽走，防止汞蒸气溢出对人体产生伤害。当曝光灯正常曝光时，抽气头可移动至聚光路径外，不影响曝光组件的正常使用。

技术领域

本实用新型涉及显示领域，特别是涉及曝光组件及曝光装置。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)显示面板，也称为有机电致发光显示面板，是一种新兴的平板显示装置，由于其具有制备工艺简单、成本低、功耗低、发光亮度高、体积轻薄、响应速度快等优点，具有广阔的应用前景。

现有的显示面板制备过程中，需要对基板进行多次曝光工艺，通常需要用到曝光机进行曝光。在实践中，高压汞灯是曝光机常用的曝光光源。高压汞灯中充有对人体健康有害的汞蒸气。

通常，当高压汞灯爆灯时，通过传感器检测汞蒸气进行报警，提醒人员撤离。然而，在报警前，已有部分汞蒸气迅速散发，从而增加了汞蒸气伤害人员的几率。

实用新型内容

基于此，有必要针对高压汞灯爆灯时散发的汞蒸气会对人体产生伤害的问题，提供一种曝光组件及曝光装置。

一种曝光组件，包括：

支撑架；

反光镜，设置于所述支撑架上，所述反光镜包括用于将光线聚集于预定焦点的反光曲面；

曝光灯，设置于所述反光曲面和所述预定焦点之间，所述曝光灯内包括汞蒸气；

抽气系统，包括至少一个抽气头，所述至少一个抽气头设置于所述曝光灯远离所述反光镜的一侧，且在所述反光曲面的聚光路径的内外可移动设置。

在其中一个实施例中，所述抽气系统包括多个抽气头，多个所述抽气头设置在同一水平面。

在其中一个实施例中，所述抽气系统包括多个抽气头，其中，每个所述抽气头具有弧形结构，且所述弧形抽气头首尾接触时形成环形。

在其中一个实施例中，所述抽气系统还包括抽气管道，所述抽气管道包括总管道及与所述总管道相连通的至少一个分支管道，所述抽气头与所述分支管道一一对应，且可伸缩地设置在对应的所述分支管道中。

在其中一个实施例中，所述抽气系统还包括气体处理结构，且所述气体处理结构设置在所述抽气管道中，用于吸收和/或吸附所述汞蒸气。

在其中一个实施例中，所述气体处理结构呈网状。

在其中一个实施例中，所述抽气系统还包括抽气泵和储存罐，所述抽气泵设置于所述抽气管道上，所述储存罐连接所述抽气管道；

所述储存罐设置有冷却结构，和/或所述储存罐的内部设置有气体处理结构，用于吸收和/或吸附所述汞蒸气。

在其中一个实施例中，所述气体处理结构包括气体处理材料，所述气体处理材料包括活性炭和/或硫单质。

一种曝光装置，包括前述曝光组件。

上述曝光组件及曝光装置，包括至少一个抽气头，在反光曲面的聚光路径内外可以移动设置。当反光镜内的曝光灯发生爆灯时，在有害的汞蒸气溢出之前，将汞蒸气抽走，防止汞蒸气溢出对人体产生伤害。当曝光灯正常曝光时，抽气头可移动至聚光路径外，不影响曝光组件的正常使用。