[实用新型]一种单晶碳化硅材料的加工设备有效
| 申请号： | 201920185878.5 | 申请日： | 2019-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN209737289U | 公开（公告）日： | 2019-12-06 |
| 发明（设计）人： | 赵永华;陈钊杰;王宏强 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学 |
| 主分类号： | B24B27/033 | 分类号： | B24B27/033;B28D1/00 |
| 代理公司： | 44205 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 唐致明<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 518055 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 单晶碳化硅 磨削 磨削装置 射流装置 电解液 喷射 机械加工技术 本实用新型 表面形成 高速氧化 工件表面 加工设备 磨削加工 损伤层 氧化膜 去除 | ||
1.一种单晶碳化硅材料的加工设备，其特征在于：包括机架，以及设置在机架上的磨削装置、射流装置和承载装置，其中，
所述磨削装置包括驱动部和磨削部，所述驱动部驱动所述磨削部旋转，所述磨削部由硬度低于单晶碳化硅的材料构成；
所述射流装置包括喷嘴和电解液储存装置，所述喷嘴连通于所述电解液储存装置；
所述承载装置包括用于固定单晶碳化硅材料的固定装置。
2.根据权利要求1所述的加工设备，其特征在于：还包括转台，所述承载装置设置在所述转台上，所述转台带动所述承载装置旋转。
3.根据权利要求1或2所述的加工设备，其特征在于：所述承载装置包括固定块及用于夹紧所述固定块的夹具，所述固定块上设置有用于固定单晶碳化硅材料的安装部。
4.根据权利要求1所述的加工设备，其特征在于：还包括喷嘴调节装置，所述喷嘴调节装置包括第一活动载台和第二活动载台，所述喷嘴设置在所述第一活动载台上，所述第一活动载台可滑动地连接于所述第二活动载台上，所述第二活动载台可滑动地连接于所述机架上。
5.根据权利要求1所述的加工设备，其特征在于：还包括电解液循环装置，所述电解液循环装置包括循环管路，所述喷嘴通过所述循环管路与所述电解液储存装置连通，所述循环管路上设置有送液装置。
6.根据权利要求5所述的加工设备，其特征在于：所述电解液循环装置还包括过滤装置，过滤装置连通于所述循环管路上。
7.根据权利要求1所述的加工设备，其特征在于：还包括脉冲电源装置，所述脉冲电源装置连接所述喷嘴和待加工的单晶碳化硅材料。
8.根据权利要求1所述的加工设备，其特征在于：所述磨削部为砂轮或者磨头。
9.根据权利要求8所述的加工设备，其特征在于：所述磨削部由氧化铝或者二氧化铈材料构成。
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