[实用新型]一种自动化上下料系统有效
申请号: | 201920192368.0 | 申请日: | 2019-02-12 |
公开(公告)号: | CN209374422U | 公开(公告)日: | 2019-09-10 |
发明(设计)人: | 刘群;庞爱锁;林佳继;林依婷 | 申请(专利权)人: | 深圳市拉普拉斯能源技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 | 代理人: | 彭西洋;谢亮 |
地址: | 518000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 缓存 机械手 周转机构 花篮 下料 上料 本实用新型 上下料机构 上下料系统 中转机构 上下料 取片 自动化 整数倍关系 自动化效率 翻转 插片 产能 移载 逐片 | ||
1.一种自动化上下料系统,其特征在于,包括上下料机构、上料缓存花篮、下料缓存花篮、周转机构、舟中转机构、至少一第一机械手、至少一第二机械手、第三机械手、若干个舟;所述上料缓存花篮、下料缓存花篮布置于上下料机构与周转机构之间;所述第一机械手用于将上下料机构上的物料移载至上料缓存花篮,及从下料缓存花篮移载至上下料机构;所述若干个舟置于周转机构上,第二机械手用于将上料中转花蓝的物料插片至周转机构的若干个舟中,及将周转机构中的物料下料至下料缓存花篮中;所述周转机构用于将若干个舟从上料缓存花篮一端传送至舟中转机构,及从舟中转机构一端传送至下料缓存花篮;所述第三机械手用于将周转机构上的舟翻转后放至舟中转机构上,及将舟中转机构上的舟翻转后放至周转机构上;所述第二机械手的取片容量与舟的卡槽数量成整数倍关系,且第二机械手的取片容量小于舟的卡槽数量。
2.根据权利要求1所述的自动化上下料系统,其特征在于,所述上下料机构包括若干上下料花篮、第一传送带机构、外部上料工位、上片工位、下片工位;外部物料经外部上料工位上料,第一传送带机构用于将上下料花篮从外部上料工位经上片工位传送至下片工位。
3.根据权利要求1所述的自动化上下料系统,其特征在于,所述周转机构包括插片及分片工位、中转工位、周转工位、翻转工位;所述插片及分片工位、中转工位、周转工位、翻转工位的长度方向上均设有第二传送带机构;所述插片及分片工位、中转工位上设有垂直于第二传送带机构的第三传送带机构,第三传送带机构用于将物料在插片及分片工位、中转工位之间传送;所述周转工位与翻转工位上设有垂直于第二传送带机构的第四传送带机构,第四传送带机构用于将物料在周转工位与翻转工位之间传送。
4.根据权利要求3所述的自动化上下料系统,其特征在于,所述周转机构还包括定位齿模组;所述定位齿模组设于插片及分片工位上,其包括定位驱动气缸、定位板;所述定位板的顶部设有若干定位齿,每一齿槽的其中一侧面设有真空吸附孔;所述定位驱动气缸用于驱动定位板升降以进出舟内部。
5.根据权利要求3所述的自动化上下料系统,其特征在于,所述周转机构还包括若干周转支架,每一周转支架上放置有若干舟。
6.根据权利要求3所述的自动化上下料系统,其特征在于,所述插片及分片工位、中转工位平行且相邻布置,周转工位与翻转工位平行且相邻布置;所述插片及分片工位的一端与翻转工位一端靠近布置,中转工位的一端与周转工位一端靠近布置。
7.根据权利要求1所述的自动化上下料系统,其特征在于,所述舟中转机构包括舟传送工位、舟存放工位、舟缓存工位;所述舟传送工位、舟存放工位平行布置,且舟传送工位一端与外部舟进出通道靠近布置;所述舟传送工位上设有第五传送带机构,第五传送带机构用于将舟在外部舟进出通道与舟传送工位之间传送;所述舟传送工位、舟存放工位上设有垂直于第五传送带机构的第六传送带机构,第六传送带机构用于将物料在舟传送工位、舟存放工位之间传送;所述舟缓存工位设于舟传送工位的另一端,用于缓存舟。
8.根据权利要求3所述的自动化上下料系统,其特征在于,所述自动化上下料系统还包括若干第一拨片机构、若干第二拨片机构;所述若干第一拨片机构分别设于上料缓存花篮、下料缓存花篮的一侧,用于拨齐上料缓存花篮及下料缓存花篮中的物料;所述第二拨片机构设于插片及分片工位的一侧,用于拨齐舟中的物料。
9.根据权利要求8所述的自动化上下料系统,其特征在于,所述第一拨片机构、第二拨片机构均包括拨片驱动电机、拨片杆;所述拨片杆沿插片及分片工位的长度方向布置,拨片驱动电机用于驱动拨片杆靠近或远离物料。
10.根据权利要求1所述的自动化上下料系统,其特征在于,所述第一机械手、第二机械手均包括机械臂驱动机构、机械臂、若干扁平吸盘;所述机械臂驱动机构用于驱动机械臂带动扁平吸盘运动;所述第二机械手还包括第一翻转驱动气缸,第一翻转驱动气缸用于驱动其机械臂带动扁平吸盘翻转;所述第二机械手中的扁平吸盘数量与舟的卡槽数量一致或为舟的卡槽数量的一半;所述第三机械手包括第二翻转驱动气缸、夹爪气缸、夹爪;所述夹爪气缸用于驱动夹爪卡合,第二翻转驱动机构用于驱动夹爪翻转。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造