[实用新型]一种自动化上下料系统

说明书

本实用新型公开一种自动化上下料系统，上料缓存花篮、下料缓存花篮布置于上下料机构与周转机构之间；所述第一机械手用于将上下料机构上的物料上下料至上料缓存花篮、下料缓存花篮；第二机械手用于将上料中转花蓝的物料插片至周转机构的若干个舟中，及将周转机构中的物料下料至下料缓存花篮中；周转机构用于将若干个舟在上料/下料缓存花篮与舟中转机构之间移送；第三机械手用于将舟在周转机构与舟中转机构之间翻转后移送；所述第二机械手的取片容量与舟的卡槽数量成整数倍关系，且第二机械手的取片容量小于舟的卡槽数量。本实用新型无需逐片进行移载，系统可持续上下料，提高上下片效率，提高自动化效率和产能。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池及半导体制造技术领域，尤其涉及一种自动化上下料系统。

背景技术

随着太阳能光伏行业的快速发展，厂家愈发重视硅片的生产效率，进而对设备自动化的需求越来越高。无论是在半导体还是光伏领域，提高上下料效率是提升产能最有效的途径之一。

目前的上下料花篮大多采用标准花篮，标准花篮的卡槽距为4.76mm，卡槽数为100；而由于舟在炉体内的空间有限，炉体的舟的卡槽距一般设为2.38mm，舟的卡槽数一般为整百数。由于舟的卡槽距是花篮卡槽距的一半，现有的上下片机械手是从100片硅片的花篮中每次50片取片，然后插入舟的奇数或偶数卡槽中，相反过程为硅片的插片下料。但在一些特殊应用中，比如高效、高产能、高性能的水平放置硅片的LPCVD、扩散、退火、氧化等工艺的舟的卡槽数由于炉管的直径问题，舟的卡槽数一般不是50的整数倍。针对这种类型的舟，一般的解决方式是由上下料花篮经过逐一导片到缓存花篮，缓存花篮卡槽数与舟的卡槽数一致，再由上下片机械手将硅片从缓存花篮中取片至舟的卡槽中。现有的设备中，上下料花篮与缓存花篮之间导片，需要逐片进行导片上下料，效率较低，不利于提高产能。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种自动化上下料系统，无需逐片进行移载，系统可持续上下料，提高上下片效率，提高自动化效率和产能。

为实现上述目的，采用以下技术方案：

一种自动化上下料系统，包括上下料机构、上料缓存花篮、下料缓存花篮、周转机构、舟中转机构、至少一第一机械手、至少一第二机械手、第三机械手、若干个舟；所述上料缓存花篮、下料缓存花篮布置于上下料机构与周转机构之间；所述第一机械手用于将上下料机构上的物料移载至上料缓存花篮，及从下料缓存花篮移载至上下料机构；所述若干个舟置于周转机构上，第二机械手用于将上料中转花蓝的物料插片至周转机构的若干个舟中，及将周转机构中的物料下料至下料缓存花篮中；所述周转机构用于将若干个舟从上料缓存花篮一端传送至舟中转机构，及从舟中转机构一端传送至下料缓存花篮；所述第三机械手用于将周转机构上的舟翻转后放至舟中转机构上，及将舟中转机构上的舟翻转后放至周转机构上；所述第二机械手的取片容量与舟的卡槽数量成整数倍关系，且第二机械手的取片容量小于舟的卡槽数量。

较佳地，所述上下料机构包括若干上下料花篮、第一传送带机构、外部上料工位、上片工位、下片工位；外部物料经外部上料工位上料，第一传送带机构用于将上下料花篮从外部上料工位经上片工位传送至下片工位。

较佳地，所述周转机构包括插片及分片工位、中转工位、周转工位、翻转工位；所述插片及分片工位、中转工位、周转工位、翻转工位的长度方向上均设有第二传送带机构；所述插片及分片工位、中转工位上设有垂直于第二传送带机构的第三传送带机构，第三传送带机构用于将物料在插片及分片工位、中转工位之间传送；所述周转工位与翻转工位上设有垂直于第二传送带机构的第四传送带机构，第四传送带机构用于将物料在周转工位与翻转工位之间传送。

较佳地，所述周转机构还包括定位齿模组；所述定位齿模组设于插片及分片工位上，其包括定位驱动气缸、定位板；所述定位板的顶部设有若干定位齿，每一齿槽的其中一侧面设有真空吸附孔；所述定位驱动气缸用于驱动定位板升降以进出舟内部。

较佳地，所述周转机构还包括若干周转支架，每一周转支架上放置有若干舟。