[实用新型]真空度激光检测系统

权利要求书

1.一种真空度激光检测系统，其特征在于，所述真空度激光检测系统包括：

一激光单元，用以产生一入射激光光束；

一反射单元，所述反射单元具有一金属反射膜，所述金属反射膜是一弧形曲面，且具有相对的受光面以及背光面，所述受光面具有一切点以反射所述入射激光光束，以产生一反射激光光束；

一接收单元，用以接收所述反射激光光束而产生一侦测信号；以及

一控制单元，其电性连接于所述激光单元以及所述接收单元，用以控制所述激光单元以及所述接收单元，并接收所述侦测信号以得到一真空度值；

其中，所述金属反射膜的所述切点具有一切平面以及与所述切平面相交的一垂直面；所述激光单元与所述接收单元分别位于所述垂直面的两相反侧；

其中，所述入射激光光束与所述垂直面形成一第一夹角，所述反射激光光束与所述垂直面形成一第二夹角，且所述第一夹角角度等于所述第二夹角角度。

2.根据权利要求1所述的真空度激光检测系统，其特征在于，所述接收单元是一四象限接受器，且所述侦测信号为一电流信号。

3.根据权利要求1所述的真空度激光检测系统，其特征在于，所述真空度激光检测系统的待测装置是设置于所述反射单元的所述背光面，且所述反射单元是流体连通于所述真空度激光检测系统的待测装置。

4.根据权利要求1所述的真空度激光检测系统，其特征在于，所述控制单元进一步包括一光源控制单元，其电性连接所述激光单元，用以调整所述入射激光光束。

5.根据权利要求1所述的真空度激光检测系统，其特征在于，所述控制单元进一步包括一处理单元，其电性连接所述接收单元，用以处理所述接收单元所产生的所述侦测信号，以得到所述真空度值。

6.根据权利要求1所述的真空度激光检测系统，其特征在于，所述反射单元进一步包括一透光组件，其设置于所述金属反射膜的所述受光面，以使所述入射激光光束通过所述透光组件而传送至所述金属反射膜。

7.根据权利要求1所述的真空度激光检测系统，其特征在于，所述金属反射膜具有一曲率，且所述曲率与所述真空度值成反比关系。

8.根据权利要求1所述的真空度激光检测系统，其特征在于，所述切点与所述激光单元形成一入射距离，所述金属反射膜的所述切点与所述激光单元形成一反射距离，且所述入射距离以及所述反射距离两者都与所述真空度值成反比关系。

9.根据权利要求1所述的真空度激光检测系统，其特征在于，所述第一夹角以及所述第二夹角的角度与所述真空度值成正比关系。

10.根据权利要求1所述的真空度激光检测系统，其特征在于，所述金属反射膜的厚度是介于50μm至500μm。