[实用新型]真空度激光检测系统

说明书

本实用新型提供一种真空度激光检测系统，其特征在于，所述真空度激光检测系统包括：激光单元、反射单元、接收单元以及控制单元。激光单元用以产生入射激光光束至反射单元，反射单元具有金属反射膜以反射入射激光光束，并产生反射激光光束至接收单元，接收单元进一步产生侦测信号至控制单元，以得到真空度值。本实用新型的真空度激光检测系统结构简单、性能稳定，可提供检测待测装置真空度值更简便的方案，且即便在不同环境下侦测，也可省去校准的手续，同时仍可获得精准的真空度值。

技术领域

本实用新型涉及一种真空度检测系统，特别是涉及一种真空度激光检测系统。

背景技术

真空度是指处于真空状态下的气体稀薄程度，在真空状态下，气体的稀薄程度通常用气体的压力值来表示，而该压力值越小则表示气体越稀薄。真空度检测广泛应用于工业、医药、食品、家电等多种领域。

精密设备中，真空腔体内的真空度在很大程度上决定了器件的性能、工作的可靠性及其寿命，因此对真空腔体中真空度的检测就显得非常重要。现有的真空度检测仪藉由测量电极之间的电容变化成度测量压力，现有的真空度检测仪内部具有一层薄膜以及电容结构，薄膜在真空压力的作用下可产生形变，根据薄膜产生的形变，根据电容的计算公式，距离和面积发生变化时，电容也相应发生变化，然后通过内部电路，将对应的电容变化进行计算反馈，最后反映出压力的变化。

然而，现有的真空度检测仪仍可能受到环境因素而导致误差，且需要经常校准，因此，仍须提供一种更便利的真空度检测系统。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于针对现有技术中存在上述缺陷，提供一种真空度检测系统，其特征在于，所述真空度激光检测系统包括：一激光单元、一反射单元、一接收单元以及一控制单元。所述激光单元用以产生一入射激光光束；所述反射单元具有一金属反射膜，所述金属反射膜是一弧形曲面，且具有相对的受光面以及背光面，所述受光面具有一切点以反射所述入射激光光束，以产生一反射激光光束；所述接收单元用以接收所述反射激光光束而产生一侦测信号；所述控制单元电性连接于所述激光单元以及所述接收单元，用以控制所述激光单元以及所述接收单元，并接收所述侦测信号以得到一真空度值。其中，所述金属反射膜的所述切点具有一切平面以及与所述切平面相交的一垂直面；所述激光单元与所述接收单元分别位于所述垂直面的两相反侧；其中，所述入射激光光束与所述垂直面形成一第一夹角，所述反射激光光束与所述垂直面形成一第二夹角，且所述第一夹角角度等于所述第二夹角角度。

更进一步地，所述接收单元是一四象限接受器，且所述侦测信号为一电流信号。

更进一步地，所述真空度激光检测系统的待测装置是设置于所述反射单元的所述背光面，且所述反射单元是流体连通于所述真空度激光检测系统的待测装置。

更进一步地，所述控制单元进一步包括一光源控制单元，其电性连接所述激光单元，用以调整所述入射激光光束。

更进一步地，所述控制单元进一步包括一处理单元，其电性连接所述接收单元，用以处理所述接收单元所产生的所述侦测信号，以得到所述真空度值。

更进一步地，所述反射单元进一步包括一透光组件，其设置于所述金属反射膜的所述受光面，以使所述入射激光光束通过所述透光组件而传送至所述金属反射膜。

更进一步地，所述金属反射膜具有一曲率，且所述曲率与所述真空度值成反比关系。

更进一步地，所述切点与所述激光单元形成一入射距离，所述金属反射膜的所述切点与所述激光单元形成一反射距离，且所述入射距离以及所述反射距离两者都与所述真空度值成反比关系。

更进一步地，所述第一夹角以及所述第二夹角的角度与所述真空度值成正比关系。

更进一步地，所述金属反射膜的厚度是介于50μm至500μm。