[实用新型]一种料架装置及探针台有效
申请号: | 201920202577.9 | 申请日: | 2019-02-16 |
公开(公告)号: | CN209878813U | 公开(公告)日: | 2019-12-31 |
发明(设计)人: | 林生财;肖乐;吴芳;王胜利 | 申请(专利权)人: | 深圳市矽电半导体设备有限公司 |
主分类号: | G01R1/04 | 分类号: | G01R1/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 旋转部 档杆 料盒 调位部 晶片 竖直 驱动 支撑 料架装置 运料 本实用新型 输出轴连接 活动连接 丝杆导轨 挡料部 料空间 放入 留置 挡住 升降 取出 | ||
1.一种料架装置(100),其特征在于:所述料架装置(100)包括,
机架(20);
第一调位部(30),通过丝杆导轨连接于机架(20),所述第一调位部(30)能够在机架(20)上沿竖直方向升降;料盒(40)放置于第一调位部(30);
挡料部(50),包括支撑部(51)、旋转部(52)、第一驱动部(53)和档杆(54),所述支撑部(51)连接于机架(20),所述旋转部(52)活动连接于支撑部(51),所述第一驱动部(53)固定于支撑部(51),且所述第一驱动部(53)输出轴连接旋转部(52),所述档杆(54)沿竖直方向连接于旋转部(52),所述第一驱动部(53)带动所述旋转部(52)旋转,使所述档杆(54)沿竖直方向挡住料盒(40)中的晶片;
运料部(60),连接于机架(20);所述档杆(54)与机架(20)留置有过料空间,用于运料部(60)将晶片放入料盒(40)或者从料盒(40)中取出晶片。
2.根据权利要求1所述的料架装置(100),其特征在于:所述旋转部(52)设置有滑槽(521);
所述第一驱动部(53)输出轴连接有传动部(55),所述传动部(55)设置有引导部(551),所述引导部(551)容纳于滑槽(521),所述第一驱动部(53)通过引导部(551)带动所述旋转部(52)旋转。
3.根据权利要求2所述的料架装置(100),其特征在于:所述滑槽(521)为腰型槽,所述旋转部(52)旋转过程中,所述引导部(551)在所述滑槽(521)中滑动。
4.根据权利要求2所述的料架装置(100),其特征在于:所述引导部(551)连接有滚动轴承,所述滚动轴承的外圈在相对于引导部(551)沿滑槽(521)内壁滚动。
5.根据权利要求1所述的料架装置(100),其特征在于:所述旋转部(52)设置有铰接孔(522),所述旋转部(52)通过所述铰接孔(522)连接于支撑部(51)。
6.根据权利要求2所述的料架装置(100),其特征在于:所述旋转部(52)设置有调位孔(523),所述调位孔(523)内径尺寸大于档杆(54)外径,所述档杆(54)通过所述调位孔(523)连接于旋转部(52)。
7.根据权利要求1所述的料架装置(100),其特征在于:所述运料部(60)滑动连接于机架(20),第二驱动部通过同步带带动运料部(60)在机架(20)上滑动。
8.一种探针台,其特征在于:所述探针台包括上述权利要求1-7任意一项所述的料架装置(100)。
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