[实用新型]一种料架装置及探针台有效
申请号: | 201920202577.9 | 申请日: | 2019-02-16 |
公开(公告)号: | CN209878813U | 公开(公告)日: | 2019-12-31 |
发明(设计)人: | 林生财;肖乐;吴芳;王胜利 | 申请(专利权)人: | 深圳市矽电半导体设备有限公司 |
主分类号: | G01R1/04 | 分类号: | G01R1/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 旋转部 档杆 料盒 调位部 晶片 竖直 驱动 支撑 料架装置 运料 本实用新型 输出轴连接 活动连接 丝杆导轨 挡料部 料空间 放入 留置 挡住 升降 取出 | ||
本实用新型公开了一种料架装置。所述料架装置包括,机架;第一调位部,通过丝杆导轨连接于机架,所述第一调位部能够在机架上沿竖直方向升降;料盒放置于第一调位部;挡料部,包括支撑部、旋转部、第一驱动部和档杆,所述支撑部连接于机架,所述旋转部活动连接于支撑部,所述第一驱动部固定于支撑部,且所述第一驱动部输出轴连接旋转部,所述档杆沿竖直方向连接于旋转部,所述第一驱动部带动所述旋转部旋转,使所述档杆沿竖直方向挡住料盒中的晶片;运料部,连接于机架;所述档杆与机架留置有过料空间,用于运料部将晶片放入料盒或者从料盒中取出晶片。
技术领域
本实用新型涉及一种料架装置及探针台。
背景技术
探针台上放置有晶片的料盒,由于探针台的振动,容易造成晶片滑出料盒,从而改变晶片在料盒中的位置,取料部每次从设定的位置取出晶片,当晶片滑出的位置超出取料位置,造成取料部不能取料,最终影响测试;甚至晶片滑出料盒,造成晶片损坏。
实用新型内容
为解决晶片由于探针台振动而滑出料盒影响取片位置,甚至掉落损坏的问题;本实用新型提出一种料架装置及探针台。
本实用新型的技术方案为:所述料架装置包括,
机架;
第一调位部,通过丝杆导轨连接于机架,所述第一调位部能够在机架上沿竖直方向升降;料盒放置于第一调位部;
挡料部,包括支撑部、旋转部、第一驱动部和档杆,所述支撑部连接于机架,所述旋转部活动连接于支撑部,所述第一驱动部固定于支撑部,且所述第一驱动部输出轴连接旋转部,所述档杆沿竖直方向连接于旋转部,所述第一驱动部带动所述旋转部旋转,使所述档杆沿竖直方向挡住料盒中的晶片;
运料部,连接于机架;所述档杆与机架留置有过料空间,用于运料部将晶片放入料盒或者从料盒中取出晶片。
进一步的,所述旋转部设置有滑槽;
所述第一驱动部输出轴连接有传动部,所述传动部设置有引导部,所述引导部容纳于滑槽,所述第一驱动部通过引导部带动所述旋转部旋转。
进一步的,所述滑槽为腰型槽,所述旋转部旋转过程中,所述引导部在所述滑槽中滑动。
进一步的,所述引导部连接有滚动轴承,所述滚动轴承的外圈在相对于引导部沿滑槽内壁滚动。
进一步的,所述旋转部设置有铰接孔,所述旋转部通过所述铰接孔连接于支撑部。
进一步的,所述旋转部设置有调位孔,所述调位孔内径尺寸大于档杆外径,所述档杆通过所述调位孔连接于旋转部。
进一步的,所述运料部滑动连接于机架,第二驱动部通过同步带带动运料部在机架上滑动。
一种探针台,所述探针台包括上述的料架装置。
本实用新型的有益效果在于:保证料盒中的晶片处于晶片能取到片的位置,防止探针台的振动造成晶片滑出料盒。
附图说明
图1为料架装置示意图;
图2为图1中a处局部放大图;
图3为挡料部第一视角示意图;
图4为挡料部第二视角示意图;
图5为旋转部示意图。
具体实施方式
为便于本领域技术人员理解本实用新型的技术方案,下面将本实用新型的技术方案结合具体实施例作进一步详细的说明。
如图1、图2、图3和图4所示,所述料架装置100包括,
机架20;
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