[实用新型]一种承片台及全自动探针台

权利要求书

1.一种承片台（50），其特征在于：所述承片台（50）包括底部（51）、第一支撑板（521）、第二支撑板（522）和放片部（53）；

所述放片部（53）设置有第一贯通孔（531），沿所述第一贯通孔（531）设置有定位环槽（532）；所述定位环槽（532）通过第一支撑板（521）连接于底部（51），所述定位环槽（532）通过第二支撑板（522）连接于底部（51），所述放片部（53）与底部（51）形成测试空间（54）；

将固定双面晶片的定位夹具（A）沿所述定位环槽（532）固定，使所述双面晶片固定于所述承片台（50），测试探针通过测试空间（54）对双面晶片进行导通，从而满足对双面晶片两侧同时电接触的测试要求。

2.根据权利要求1所述的承片台（50），其特征在于：所述定位环槽（532）设置有定位凸起（5321），所述定位夹具（A）设置有定位孔（A1），所述定位凸起（5321）容纳于所述定位孔（A1）。

3.根据权利要求1所述的承片台（50），其特征在于：所述底部（51）还包括，

滑动连接部（511），连接于基板（20），使所述承片台（50）能够相对于所述基板（20）运动；

转动连接部（512），转动连接于滑动连接部（511），所述第一支撑板（521）和第二支撑板（522）分别连接于所述转动连接部（512），使放片部（53）能够相对于所述滑动连接部（511）旋转；

转动调节部（513），同时连接于滑动连接部（511）和转动连接部（512），通过所述转动调节部（513）调节所述转动连接部（512）相对于所述滑动连接部（511）转动。

4.根据权利要求3所述的承片台（50），其特征在于：所述转动调节部（513）包括，

第一驱动部（5131），固定于滑动连接部（511）；

止抵块（5132），滑动连接于滑动连接部（511）；所述止抵块（5132）连接于第一驱动部（5131）的输出轴，使所述第一驱动部（5131）驱动所述止抵块（5132）相对于滑动连接部（511）运动；

定位弹簧（5133），同时连接于滑动连接部（511）和转动连接部（512），使转动连接部（512）止抵于止抵块（5132），实现通过调节止抵块（5132）的位置改变转动连接部（512）的转动位置。

5.根据权利要求4所述的承片台（50），其特征在于：所述止抵块（5132）连接有丝杆，并通过直线滑轨连接于滑动连接部（511）；通过调节丝杆的旋转实现所述止抵块（5132）沿直线滑轨的运动；

所述第一驱动部（5131）的输出轴与丝杆通过同步带连接，实现所述第一驱动部（5131）控制连接于止抵块（5132）的丝杆转动。

6.根据权利要求1所述的承片台（50），其特征在于：所述第一支撑板（521）安装有第一旋转压紧气缸（5211），所述第二支撑板（522）安装有第二旋转压紧气缸（5221），所述第一旋转压紧气缸（5211）和第二旋转压紧气缸（5221）用于将定位夹具（A）固定于放片部（53）。