[实用新型]一种承片台及全自动探针台

说明书

本实用新型公开了一种承片台。所述承片台包括底部、第一支撑板、第二支撑板和放片部；所述放片部设置有第一贯通孔，沿所述第一贯通孔设置有定位环槽；所述定位环槽通过第一支撑板连接于底部，所述定位环槽通过第二支撑板连接于底部，所述放片部与底部形成测试空间；将固定双面晶片的定位夹具沿所述定位环槽固定，使所述双面晶片固定于所述承片台，测试探针通过测试空间对双面晶片进行导通，从而满足对双面晶片两侧同时电接触的测试要求。

技术领域

本实用新型涉及一种承片台及全自动探针台。

背景技术

双面晶片为两侧分别为一个电极的晶片，实现对双面晶片的测试关键要解决承片台的问题，常规的单侧扎针测试的承片台采用双侧分别扎针测试，将双面晶片放置于常规的半导体测试设备，两面分别测试，这样测试的测试效率低，以及由于分别测试造成电性参数不稳定，难以直接获取双面晶粒的电参数状况。

实用新型内容

为解决双面晶片的测试问题，本实用新型提出一种承片台、全自动探针台、自动上料方法及自动下料方法。

本实用新型的技术方案为：所述承片台包括底部、第一支撑板、第二支撑板和放片部；

所述放片部设置有第一贯通孔，沿所述第一贯通孔设置有定位环槽；所述定位环槽通过第一支撑板连接于底部，所述定位环槽通过第二支撑板连接于底部，所述放片部与底部形成测试空间；

将固定双面晶片的定位夹具沿所述定位环槽固定，使所述双面晶片固定于所述承片台，测试探针通过测试空间对双面晶片进行导通，从而满足对双面晶片两侧同时电接触的测试要求。

进一步的，所述定位环槽设置有定位凸起，所述定位夹具设置有定位孔，所述定位凸起容纳于所述定位孔。

进一步的，所述底部还包括，

滑动连接部，连接于基板，使所述承片台能够相对于所述基板运动；

转动连接部，转动连接于滑动连接部，所述第一支撑板和第二支撑板分别连接于所述转动连接部，使放片部能够相对于所述滑动连接部旋转；

转动调节部，同时连接于滑动连接部和转动连接部，通过所述转动调节部调节所述转动连接部相对于所述滑动连接部转动。

进一步的，所述转动调节部包括，

第一驱动部，固定于滑动连接部；

止抵块，滑动连接于滑动连接部；所述止抵块连接于第一驱动部的输出轴，使所述第一驱动部驱动所述止抵块相对于滑动连接部运动；

定位弹簧，同时连接于滑动连接部和转动连接部，使转动连接部止抵于止抵块，实现通过调节止抵块的位置改变转动连接部的转动位置。

进一步的，所述止抵块连接有丝杆，并通过直线滑轨连接于滑动连接部；通过调节丝杆的旋转实现所述止抵块沿直线滑轨的运动；

所述第一驱动部的输出轴与丝杆通过同步带连接，实现所述第一驱动部控制连接于止抵块的丝杆转动。

进一步的，所述第一支撑板安装有第一旋转压紧气缸，所述第二支撑板安装有第二旋转压紧气缸，所述第一旋转压紧气缸和第二旋转压紧气缸用于将定位夹具固定于放片部。

一种全自动探针台，包括上述的承片台，所述全自动探针台还包括，

基板；

第一支撑架和第二支撑架；

安装板通过第一支撑架连接于基板，安装板通过第二支撑架连接于基板；所述安装板正对应所述基板，所述安装板位于所述基板上方；所述安装板设置有放料孔；

第一放料部和第二放料部；