[实用新型]限位件、工作平台组件及活化热退火设备

权利要求书

1.一种限位件，用于设置在工作平台的承载面上，以对置于所述承载面上的基板进行限位；其特征在于，

所述限位件包括至少一个斜面部，所述斜面部具有用于与所述基板接触的第一表面，以及与所述第一表面相对的第二表面，所述第一表面为平面或弧面，所述第二表面为平面；

所述斜面部具有第一端和第二端，在从所述第一端到所述第二端的方向上，所述第一表面与所述第二表面间的距离逐渐增大；所述斜面部至少靠近所述第一端的部分用于置于所述基板和所述承载面之间。

2.根据权利要求1所述的限位件，其特征在于，所述限位件包括第一斜面部和第二斜面部；

所述第一斜面部和所述第二斜面部均与一连接部相连，所述第一斜面部的第二表面和所述第二斜面部的第二表面共面；

所述第一斜面部的所述第一端到所述第二端的方向与所述第二斜面部的所述第一端到所述第二端的方向相互垂直。

3.根据权利要求2所述的限位件，其特征在于，所述第一斜面部和所述第二斜面部的结构相同。

4.根据权利要求2所述的限位件，其特征在于，在所述第一斜面部和所述第二斜面部之间形成有缺失结构。

5.根据权利要求1或2所述的限位件，其特征在于，所述第一表面和所述第二表面之间的夹角为10°至15°。

6.根据权利要求1或2所述的限位件，其特征在于，每个所述斜面部中，所述第一表面和所述第二表面之间的最小距离不大于0.5mm，且最大距离至少为5mm。

7.根据权利要求1或2所述的限位件，其特征在于，所述第二表面上设有用于对所述限位件进行定位的定位柱。

8.根据权利要求7所述的限位件，其特征在于，所述第二表面上设有两个定位柱。

9.根据权利要求1或2所述的限位件，其特征在于，所述第一表面上设有防滑结构。

10.一种工作平台组件，其特征在于，包括工作平台以及多个权利要求1至9中任一所述的限位件；

所述工作平台具有用于承载所述基板的承载面；

所述限位件设于所述工作平台的承载面上。

11.根据权利要求10所述的工作平台组件，其特征在于，所述工作平台的承载面具有用于承载所述基板的基板放置区，所述基板放置区为矩形，所述基板放置区的每个侧边设有至少一个所述斜面部。

12.根据权利要求11所述的工作平台组件，其特征在于，所述限位件为权利要求2至4中任一所述的限位件，数量为4个，分别设置在所述基板放置区的4个角处，每个所述限位件的两个所述第一表面分别对应于所述基板放置区的相邻两侧边。

13.根据权利要求10所述的工作平台组件，其特征在于，所述第二表面上设有用于对所述限位件进行定位的定位柱，所述工作平台上设有用于供所述定位柱插入的安装孔。

14.一种活化热退火设备，其特征在于，包括权利要求10至13任一所述的工作平台组件。