[实用新型]光电装置

权利要求书

1.一种光电装置，其特征在于，所述光电装置包括：

肋形波导，所述肋形波导包括：

脊部分，所述脊部分包括对温度敏感的光学有源区，

以及平板部分，所述平板部分邻近所述脊部分定位；

所述装置还包括第一加热器，所述第一加热器安置在所述平板部分的顶部上，其中所述第一加热器的最靠近脊部分的部分距离所述脊部分至少2μm。

2.如权利要求1所述的光电装置，其中所述第一加热器的第一区的宽度在与所述肋形波导的引导方向基本平行的方向上从第一宽度逐渐减小至第二宽度。

3.如权利要求2所述的光电装置，其中所述第一加热器的第二区的宽度沿着与所述肋形波导的所述引导方向基本平行的所述方向从所述第二宽度增加至所述第一宽度。

4.如权利要求1所述的光电装置，其中所述第一加热器包括多个金属条带，所述金属条带的一端连接至相邻金属条带以形成蛇形形式。

5.如权利要求4所述的光电装置，其中所述第一加热器包括至少2个金属条带且不超过20个金属条带。

6.如权利要求4或5所述的光电装置，还包括用于所述第一加热器的第一和第二电极，所述电极在同一侧电连接至所述第一加热器。

7.如权利要求4所述的光电装置，其中每个金属条带具有至少0.5μm且不超过10μm的宽度。

8.如权利要求4所述的光电装置，其中相邻金属条带之间的间隙具有至少0.5μm且不超过10μm的宽度。

9.如权利要求4所述的光电装置，其中所述第一加热器由以下中的任何一种形成：Ti、TiN、TiW、NiCr或W。

10.如权利要求1所述的光电装置，其中所述第一加热器安置在所述平板部分的电触点上方并且通过绝缘体与所述电触点分离。

11.如权利要求1所述的光电装置，还包括安置在所述第一加热器上的上包覆层。

12.如权利要求1所述的光电装置，还包括第二加热器，所述第二加热器与所述第一加热器基本相同并且安置在所述脊部分的相对侧上。

13.如权利要求1所述的光电装置，还包括：

底部包覆层，所述底部包覆层邻近所述平板部分安置；以及

隔热沟槽，其中所述隔热沟槽邻近所述底部包覆层定位。

14.如权利要求13所述的光电装置，其中所述隔热沟槽填充有空气或二氧化硅。

15.如权利要求13或14所述的光电装置，其中所述隔热沟槽具有至少0.5μm且不超过2.0μm的宽度。

16.如权利要求13所述的光电装置，其中所述装置包括多个隔热沟槽，所述多个隔热沟槽围绕所述平板部分的周边布置。

17.如权利要求1所述的光电装置，其中所述装置还包括：

底部包覆层，所述底部包覆层邻近所述平板部分安置；以及

隔热腔，所述隔热腔位于所述底部包覆层的与所述平板部分相对的一侧。

18.如权利要求17所述的光电装置，还包括：

掩埋氧化物层，所述掩埋氧化物层邻近所述底部包覆层的下表面安置，其中所述隔热腔位于所述掩埋氧化物层的相对侧并且邻近硅衬底。

19.如权利要求17所述的光电装置，其中所述隔热腔的宽度大于所述平板部分的宽度。