[实用新型]一种光阻剥离液废液回收系统有效

专利信息
申请号: 201920220596.4 申请日: 2019-02-21
公开(公告)号: CN210048686U 公开(公告)日: 2020-02-11
发明(设计)人: 蒋新;吴鹏珍;田丹女 申请(专利权)人: 苏州晶洲装备科技有限公司
主分类号: C07C315/06 分类号: C07C315/06;C07C317/04;C07C213/10;C07C215/08
代理公司: 32276 苏州根号专利代理事务所(普通合伙) 代理人: 项丽
地址: 215500 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 剥离液 精馏塔釜 提升泵 剥离液废液 二甲基亚砜 精馏塔体 一级精馏 缓冲罐 冷却器 浓缩罐 乙醇胺 废液回收系统 本实用新型 光阻剥离液 精馏塔顶部 脱水塔顶部 回收利用 使用效率 树脂吸收 有效实现 组件包括 冷却液 收集罐 脱水塔 配制 承接 调配
【权利要求书】:

1.一种光阻剥离液废液回收系统,其特征在于,它包括:

一级精馏组件(1),所述一级精馏组件(1)包括精馏塔体(11)、设置在所述精馏塔体(11)底部的精馏塔釜(12)、底部与所述精馏塔体(11)顶部相连通的脱水塔(13)、与所述脱水塔(13)顶部相连通的冷却器(14)以及与所述冷却器(14)相连通的冷却液收集罐(15);

剥离液浓缩罐(2),所述剥离液浓缩罐(2)通过第一提升泵(21)与所述精馏塔釜(12)相连通;

剥离液缓冲罐(3),所述剥离液缓冲罐(3)通过第二提升泵(31)与所述精馏塔釜(12)相连通,用于承接剥离液废液并通过所述第二提升泵(31)输送至所述精馏塔釜(12)内;

树脂吸收组件(4),所述树脂吸收组件(4)通过第三提升泵(40)与所述冷却液收集罐(15)相连通,用于去除冷却液中的阴、阳离子;

成品配制组件(5),所述成品配制组件(5)包括与所述树脂吸收组件(4)相连通的馏分收集罐(51)。

2.根据权利要求1所述的光阻剥离液废液回收系统,其特征在于:所述成品配制组件(5)还包括与所述馏分收集罐(51)相连通的混配罐(55)、与所述混配罐(55)相连通的第一原料罐(53)以及与所述混配罐(55)相连通的第二原料罐(54)。

3.根据权利要求2所述的光阻剥离液废液回收系统,其特征在于:所述成品配制组件(5)还包括安装在所述馏分收集罐(51)上的第一在线浓度检测仪(52)以及安装在所述混配罐(55)上的第二在线浓度检测仪(56)。

4.根据权利要求1所述的光阻剥离液废液回收系统,其特征在于:所述树脂吸收组件(4)包括与所述第三提升泵(40)相连通的阳离子交换树脂塔(41)以及与所述阳离子交换树脂塔(41)底部相连通的阴离子交换树脂塔(42),所述阴离子交换树脂塔(42)与所述馏分收集罐(51)相连接。

5.根据权利要求1所述的光阻剥离液废液回收系统,其特征在于:所述剥离液浓缩罐(2)还与下游的废液处理罐相连通。

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