[实用新型]一种光阻剥离液废液回收系统

说明书

本实用新型涉及一种光阻剥离液废液回收系统，它包括：一级精馏组件，所述一级精馏组件包括精馏塔体、设置在所述精馏塔体底部的精馏塔釜、底部与所述精馏塔顶部相连通的脱水塔、与所述脱水塔顶部相连通的冷却器以及与所述冷却器相连通的冷却液收集罐；剥离液浓缩罐，所述剥离液浓缩罐通过第一提升泵与所述精馏塔釜相连通；剥离液缓冲罐，所述剥离液缓冲罐通过第二提升泵与所述精馏塔釜相连通，用于承接剥离液废液并通过所述第二提升泵输送至所述精馏塔釜内；树脂吸收组件；成品配制组。这样能够有效实现对光阻剥离液废液中二甲基亚砜、乙醇胺的回收利用，而且获得的二甲基亚砜、乙醇胺成品质量较优，简单调配后能够直接使用，有利于降低成本并提高剥离液的使用效率。

技术领域

本实用新型属于光阻剥离液废液回收领域，涉及一种回收系统，具体涉及一种光阻剥离液废液回收系统。

背景技术

在硅基材料制造工艺中，通常先在二氧化硅、Cu等材料表面上形成光阻的涂层，利用适当的掩模进行曝光、显影，根据所用光阻的特性，除去曝光或者未曝光部分的光阻，在所要求的部位形成光阻图案，然后在该光阻图案上进行等离子刻蚀或反应性气体刻蚀，进行图形转移。

光阻剥离液用于将涂覆在微电路保护区域上作为掩膜的光阻除去，它是硅基材料晶片进行光阻化学清洗过程所需的常用化学品，主要由有机胺、极性有机溶剂和/或水等组成。光阻剥离液使用后产生的废水中含量大量的有机溶剂(如二甲基亚砜、乙醇胺等)，如果直接排放会对环境产生极大的破坏；如果直接委外，无法对其进行有效利用，无形中增加了企业的生产成本。

发明内容

本实用新型目的是为了克服现有技术的不足而提供一种光阻剥离液废液回收系统。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种光阻剥离液废液回收系统，它包括：

一级精馏组件，所述一级精馏组件包括精馏塔体、设置在所述精馏塔体底部的精馏塔釜、底部与所述精馏塔体顶部相连通的脱水塔、与所述脱水塔顶部相连通的冷却器以及与所述冷却器相连通的冷却液收集罐；

剥离液浓缩罐，所述剥离液浓缩罐通过第一提升泵与所述精馏塔釜相连通；

剥离液缓冲罐，所述剥离液缓冲罐通过第二提升泵与所述精馏塔釜相连通，用于承接剥离液废液并通过所述第二提升泵输送至所述精馏塔釜内；

树脂吸收组件，所述树脂吸收组件通过第三提升泵与所述冷却液收集罐相连通，用于去除冷却液中的阴、阳离子；

成品配制组件，所述成品配制组件包括与所述树脂吸收组件相连通的馏分收集罐。

优化地，所述成品配制组件还包括与所述馏分收集罐相连通的混配罐、与所述混配罐相连通的第一原料罐以及与所述混配罐相连通的第二原料罐。

进一步地，所述成品配制组件还包括安装在所述馏分收集罐上的第一在线浓度检测仪以及安装在所述混配罐上的第二在线浓度检测仪。

优化地，所述树脂吸收组件包括与所述第三提升泵相连通的阳离子交换树脂塔以及与所述阳离子交换树脂塔底部相连通的阴离子交换树脂塔，所述阴离子交换树脂塔与所述馏分收集罐相连接。

优化地，所述剥离液浓缩罐还与下游的废液处理罐相连通。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：本实用新型光阻剥离液废液回收系统，通过对光阻剥离液废液进行精馏浓缩、树脂吸附、成品配制等操作，这样能够有效实现对光阻剥离液废液中二甲基亚砜、乙醇胺的回收利用，而且获得的二甲基亚砜、乙醇胺成品质量较优，简单调配后能够直接使用，有利于降低成本并提高剥离液的使用效率。

附图说明

图1为本实用新型光阻剥离液废液回收系统的结构示意图。

具体实施方式