[实用新型]一种二维高精度微动平台有效
| 申请号： | 201920221052.X | 申请日： | 2019-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN209461159U | 公开（公告）日： | 2019-10-01 |
| 发明（设计）人： | 边浩铖;赵洪新;孙昊毅 | 申请（专利权）人： | 山东理工大学 |
| 主分类号： | G12B5/00 | 分类号： | G12B5/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 255086 山东省淄*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微动平台 杠杆放大机构 导向机构 并联 簧片 压电陶瓷驱动器 固定平台 运动支链 本实用新型 柔性铰链 运动传递 二维 中心对称布置 中心对称方式 大行程运动 刚性连接 高稳定性 固有频率 输出端 输入端 相抵 保证 | ||
【权利要求书】：
1.一种二维高精度微动平台，包括固定平台(1)、微动平台(3)、压电陶瓷驱动器(24)、并联杠杆放大机构及簧片导向机构,其特征在于：四个压电陶瓷驱动器(24)安装在固定平台(1)上，固定平台(1)与微动平台(3)之间通过四条呈中心对称布置的运动支链相连接，在每条运动支链中，连杆(40)的一端通过第二十直圆柔性铰链(41)与固定平台(1)相连接，簧片导向机构与连杆(40)的另一端通过第十九直圆柔性铰链(39)连接，簧片导向机构与并联杠杆放大机构刚性连接，并联杠杆放大机构的输入端与压电陶瓷驱动器(24)相抵靠，簧片导向机构通过第一直圆柔性铰链(4)、第四直圆柔性铰链(11)、第十五直圆柔性铰链(31)、第十八直圆柔性铰链(38)与固定平台(1)相连接，并联杠杆放大机构通过第八直圆柔性铰链(19)、第十一直圆柔性铰链(25)与固定平台(1)相连接。
2.根据权利要求1所述的一种二维高精度微动平台，其特征在于，簧片导向机构与并联杠杆放大机构呈中心对称分布，压电陶瓷驱动器(24)有四个，采用中心对称方式布置在固定平台(1)上。
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