[实用新型]一种二维高精度微动平台

说明书

本实用新型涉及一种二维高精度微动平台，由固定平台、微动平台、压电陶瓷驱动器、并联杠杆放大机构及簧片导向机构组成。压电陶瓷驱动器安装在固定平台上，固定平台与微动平台之间通过四条运动支链连接，四条运动支链呈中心对称布置，在每条运动支链中，连杆的一端通过柔性铰链与微动平台连接，连杆的另一端通过柔性铰链与簧片导向机构连接，簧片导向机构与并联杠杆放大机构刚性连接，压电陶瓷驱动器的输出端与并联杠杆放大机构的输入端相抵靠，经并联杠杆放大机构与簧片导向机构将运动传递给微动平台，微动平台四个输入采用中心对称方式布置。本实用新型能在实现大行程运动的同时保证高的固有频率，也保证了运动传递的高精度和高稳定性。

技术领域

本实用新型涉及一种二维高精度微动平台，属于先进制造中的精密技术领域。

背景技术

随着科技的快速发展，微动平台的研究变得越来越重要。压电陶瓷驱动器具有定位精度高的优良特性，但其行程较短的缺点也较为明显。因此，通过设计一种二维高精度微动平台，由并联杠杆放大机构来提高平台的行程，由簧片导向机构来提高运动的精确性，并通过四个压电陶瓷驱动器的中心对称布置实现运动输出的高精度和高稳定性。

发明内容：

本实用新型的目的是提供一种能实现较大位移的输出，同时也能保证高精度和高稳定性输出的微动平台。其技术方案为：

一种二维高精度微动平台，包括固定平台(1)、微动平台(3)和压电陶瓷驱动器(24)、并联杠杆放大机构及簧片导向机构,其特征在于：四个压电陶瓷驱动器(24)安装在固定平台(1)上，固定平台(1)与微动平台(3)之间通过四条呈中心对称布置的运动支链相连接，在每条运动支链中，连杆(40)的一端通过第二十直圆柔性铰链(41)与固定平台(1)相连接，簧片导向机构与连杆 (40)的另一端通过第十九直圆柔性铰链(39)连接，簧片导向机构与并联杠杆放大机构刚性连接，并联杠杆放大机构的输入端与压电陶瓷驱动器(24)相抵靠，簧片导向机构通过第一直圆柔性铰链(4)、第四直圆柔性铰链(11)、第十五直圆柔性铰链(31)、第十八直圆柔性铰链(38)与固定平台(1)相连接，并联杠杆放大机构通过第八直圆柔性铰链(19)、第十一直圆柔性铰链(25)与固定平台(1)相连接。

其工作原理为：安装在固定平台上的四个压电陶瓷驱动器在控制系统的控制下通过施加不同的作用力，由并联杠杆放大机构作用实现微动平台的运动，即大位移输出，四个呈中心对称布置簧片导向机构实现微位移的精密输出，既实现了较大位移的输出要求，同时也保证了输出高精度和高稳定性。

本实用新型与现有技术相比，其优点在于：

采用新型并联杠杆放大机构增大了压电陶瓷驱动器的位移输出；采用呈中心对称布置的压电陶瓷驱动器对微动平台进行驱动；采用呈中心对称布置的簧片导向机构实现运动的精确导向；既满足了微动平台较大位移的输出要求，同时也保证了输出高精度和高稳定性。

附图说明

图1是本实用新型实施例的主视图简图；

图2是本实用新型实施例的A处局部放大简图；

图中：1、固定平台 2、平台固定孔 3、微动平台 4、第一直圆柔性铰链 5、连杆 6、第二直圆柔性铰链 7、T形连杆 8、簧片组 9、第三直圆柔性铰链 10、连杆 11、第四直圆柔性铰链 12、T形连杆 13、第五直圆柔性铰链 14、连杆 15、第六直圆柔性铰链 16、第七直圆柔性铰链 17、异形连杆 18、连杆 19、第八直圆柔性铰链 20、第九直圆柔性铰链 21、连杆22、第十直圆柔性铰链 23、连杆 24、压电陶瓷驱动器 25、第十一直圆柔性铰链 26、第十二直圆柔性铰链 27、异形连杆 28、第十三直圆柔性铰链 29、连杆 30、第十四直圆柔性铰链31、第十五直圆柔性铰链 32、连杆 33、第十六直圆柔性铰链 34、T形连杆 35、簧片组 36、第十七直圆柔性铰链 37、连杆 38、第十八直圆柔性铰链 39、第十九直圆柔性铰链 40、连杆 41、第二十直圆柔性铰链