[实用新型]一种管式PECVD设备电极对接装置

权利要求书

1.一种管式PECVD设备电极对接装置，其特征在于：包括第一对接电极（100）和第二对接电极（200），所述第一对接电极（100）包括第一电极座（110）和用于安装第一电极座（110）的第一安装板（120），所述第一电极座（110）上穿设有正电极头（111）、接地电极头（112）和负电极头（113），所述第二对接电极（200）包括第二电极座（210）和用于安装第二电极座（210）的第二安装板（220），所述第二电极座（210）设有三个电极头接入孔（211），所述正电极头（111）、接地电极头（112）和负电极头（113）的一端插设于各电极头接入孔（211）内，另一端均具有第一接线端，所述各电极头接入孔（211）远离各电极头的一端设有第二接线端（300）。

2.根据权利要求1所述的管式PECVD设备电极对接装置，其特征在于：所述第一电极座（110）设有定位导向柱（410），所述第二电极座（210）设有与定位导向柱（410）配合的定位孔（420），或者，所述第二电极座（210）设有定位导向柱（410），所述第一电极座（110）设有与定位导向柱（410）配合的定位孔（420）。

3.根据权利要求2所述的管式PECVD设备电极对接装置，其特征在于：所述定位导向柱（410）的插入定位孔（420）的一端为圆锥形尖端。

4.根据权利要求1至3任意一项所述的管式PECVD设备电极对接装置，其特征在于：所述第一接线端设有电极绝缘帽（500）。

5.根据权利要求4所述的管式PECVD设备电极对接装置，其特征在于：所述第二接线端（300）设有电极绝缘帽（500）。

6.根据权利要求5所述的管式PECVD设备电极对接装置，其特征在于：所述电极绝缘帽（500）设有避让孔（510）。

7.根据权利要求4所述的管式PECVD设备电极对接装置，其特征在于：各电极头接入孔（211）外套有电极绝缘套（600）。

8.根据权利要求1至3任意一项所述的管式PECVD设备电极对接装置，其特征在于：所述正电极头（111）、接地电极头（112）和负电极头（113）从上至下依次布置。

9.根据权利要求1至3任意一项所述的管式PECVD设备电极对接装置，其特征在于：所述第一安装板（120）为L形板，L形板的竖边设有用于安装第一电极座（110）的腰型孔（700），L形板的横边设有用于固定的腰型孔（700）。

10.根据权利要求1至3任意一项所述的管式PECVD设备电极对接装置，其特征在于：所述第二安装板（220）为L形板，L形板的竖边设有用于安装第二电极座（210）的腰型孔（700），L形板的横边设有用于固定的腰型孔（700）。