[实用新型]一种基板承载台有效
| 申请号： | 201920231441.0 | 申请日： | 2019-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN209433150U | 公开（公告）日： | 2019-09-24 |
| 发明（设计）人： | 陈富军;戴巧云 | 申请（专利权）人： | 昆山龙腾光电有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;H05F3/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215301 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电极部 绝缘层 承载穴 电极层 基底 基板承载台 玻璃基板 上移动 承载 基板承载 距离增加 控制装置 静电 承载面 充放电 中空的 导出 基板 制程 剥离 残留 玻璃 | ||
1.一种基板承载台，包括：基底，其特征在于，还包括：
绝缘层，设置于所述基底上，所述绝缘层远离所述基底的一侧为承载面，所述绝缘层内部设置有中空的电极部承载穴；
电极层，设置于所述电极部承载穴中且能够在控制装置的控制下在远离或靠近所述承载面的方向上移动；
电源，与所述电极层电连接并向所述电极层供电。
2.根据权利要求1所述的基板承载台，其特征在于，所述控制装置包括控制部与传动部，所述传动部与所述电极层直接接触并在所述控制部的控制下与所述电极层同步移动。
3.根据权利要求2所述的基板承载台，其特征在于，所述传动部包括传动杆和与所述传动杆固定连接的承载片，所述承载片上设置有所述电极层。
4.根据权利要求3所述的基板承载台，其特征在于，所述传动杆包括第一传动杆和第二传动杆，所述第二传动杆的一端与所述第一传动杆滑动连接，另一端与所述承载片固定连接，且能够在控制部的控制下相对于所述第一传动杆做伸缩运动。
5.根据权利要求3所述的基板承载台，其特征在于，所述电极层在所述承载片平面的垂直投影与所述承载片重合。
6.根据权利要求3所述的基板承载台，其特征在于，所述承载片上设置有导电孔，所述传动杆内部设置有用于向所述电极层供电的导线，所述导线穿过所述导电孔与所述电极层电连接。
7.很据权利要求6所述的基板承载台，其特征在于，所述控制部内设置有所述电源，所述电源通过所述导线向所述电极层供电。
8.根据权利要求4所述的基板承载台，其特征在于，所述承载片与所述绝缘层的材质均为氧化铝陶瓷。
9.根据权利要求1所述的基板承载台，其特征在于，所述绝缘层的所述承载面上间隔设置有多个凸起。
10.根据权利要求1所述的基板承载台，其特征在于，所述基板承载台还包括进气通路，所述进气通路贯穿所述基底及所述绝缘层。
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