[实用新型]一种基板承载台

说明书

本实用新型提供的一种基板承载台，包括基底及设置于基底上的绝缘层，绝缘层远离基底的一侧为承载面，该绝缘层内部还设置有中空的电极部承载穴，该基板承载台还包括设置于电极部承载穴内部的电极层，该电极层能够在控制装置的控制下在所述电极部承载穴中沿远离或靠近承载面的方向上移动，在玻璃基板制程结束后需要对玻璃进行剥离时，可以使电极部沿靠近承载面的方向上移动，进而缩短电极层与玻璃基板之间的距离增加充放电的速度，从而快速导出残留在基板上的静电，解决瞬时ESD问题。

技术领域

本实用新型涉及液晶显示领域，特别涉及一种具有静电防护能力的基板承载台。

背景技术

在液晶显示器(Liquid Cryatal Display,LCD)的制造过程中，需要对作为被处理体的玻璃基板进行干式蚀刻、喷镀(spattering)、化学气相沉积(Chemical VaporDeposition，CVD)等处理。例如，在腔室内配置一对平行板电极(上电极部和下电极部)，并将玻璃基板载置于下电极部发挥作用的基板承载台上之后，将处理气体导入到腔室内，同时在电极间形成高频电场，并通过该高频电场形成处理气体的等离子体并对玻璃基板实施等离子体处理。这时，由设置在基板承载台上的下电极部，利用例如库仑力吸附并固定玻璃基板。

在对玻璃基板的处理制程结束后，需要将玻璃基板从该基板承载台上剥离下来。但在实际基板剥离过程中，玻璃基板上残留的静电荷并不能快速地通过基板承载台导出，当残留的静电荷数量达到一定数值则会对产品造成静电击伤，此问题亟待解决。

实用新型内容

本实用新型的目的就是要解决现有技术的不足，提供一种基板承载装置，通过实时调节对基板的电场效果，实现基板剥离过程中静电的快速导出，提升静电防护能力。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种基板承载台，包括：基底，其特征在于，还包括：

绝缘层，设置于所述基底上，所述绝缘层远离所述基底的一侧为承载面，所述绝缘层内部设置有中空的电极部承载穴；

电极层，设置于所述电极部承载穴中且能够在控制装置的控制下在远离或靠近所述承载面的方向上移动；

电源，与所述电极层电连接并向所述电极层供电；

进一步地，所述控制装置包括控制部与传动部，所述传动部与所述电极层直接接触并在所述控制部的控制下与所述电极层同步移动；

进一步地，所述传动部包括传动杆和与所述传动杆固定连接的承载片，所述承载片上设置有所述电极层；

进一步地，所述传动杆包括第一传动杆和第二传动杆，所述第二传动杆的一端与所述第一传动杆滑动连接，另一端与所述承载片固定连接，且能够在控制部的控制下相对于所述第一传动杆做伸缩运动；

进一步地，所述电极层在所述承载片平面的垂直投影与所述承载片重合；

进一步地，所述承载片上设置有导电孔，所述传动杆内部设置有用于向所述电极层供电的导线，所述导线穿过所述导电孔与所述电极层电连接；

进一步地，所述控制部内设置有所述电源，所述电源通过所述导线向所述电极层供电；

进一步地，所述承载片与所述绝缘层的材质均为氧化铝陶瓷；

进一步地，所述绝缘层的所述承载面上间隔设置有多个凸起；

进一步地，所述基板承载台还包括进气通路，所述进气通路贯穿所述基底及所述绝缘层。