[实用新型]异形基板边缘检查装置有效
| 申请号： | 201920239734.3 | 申请日： | 2019-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN209727743U | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 白井明 | 申请（专利权）人： | 白井科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/95 |
| 代理公司： | 11139 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 孙皓晨;李林<国际申请>=<国际公布>= |
| 地址： | 日本国大阪府东*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 移动体 旋转支持构件 进退移动 异形 线感应器 基板 桌台 数值控制 位移计 旋转轴 对焦 雷射 本实用新型 法线方向 基板边缘 检查装置 可逆驱动 前后方向 驱动机构 照明装置 焦点 装设 轴承 照射 移动 | ||
1.一种异形基板边缘检查装置，其特征在于，包括：
第一移动体，是以移动引导机构在左右方向移动，且以数值控制进退移动机构进退移动的方式设置；
第二移动体，是以在该第一移动体移动路单侧以移动引导机构在前后方向移动，且以数值控制进退移动机构进退移动的方式设置；
桌台，是以在该第二移动体上于上面接受供给异形基板，且具有保持该接受前述异形基板的吸取保持功能的方式设置；
旋转轴，在前述第一移动体上的支持构件上作自由旋转，且垂直于轴承的轴线；
旋转支持构件，是设置在该旋转轴下端，前述旋转支持构件为水平设置且两端间的中央固定；
2D雷射位移计，装设于该旋转支持构件下面前述旋转轴的轴芯位置，且对焦于前述桌台上的前述异形基板边缘而设置；
线感应器，是在前述旋转支持构件一端对焦于前述桌台上的前述异形基板边缘而设置；
照明装置，是以照射前述旋转支持构件另一端侧的前述2D雷射位移计及线感应器的焦点的方式设置；
驱动机构，是以使前述线感应器的焦点朝向法线方向并使前述旋转轴可逆驱动的方式设置；以及
相机，是以在前述第一移动体侧读取前述异形基板板面的标记的方式设置，将前述2D雷射位移计及前述线感应器所行检查取为影像，并判定前述异形基板为良品或不良品。
2.一种异形基板边缘检查装置，其特征在于，包括：
第三移动体，是以移动引导机构在左右方向移动，且以数值控制进退移动机构进退移动的方式设置；
第四移动体，是以在该第三移动体上以移动引导机构在前后方向移动，且以数值控制进退移动机构进退移动的方式设置；
桌台，是以在该第四移动体上于上面接受供给异形基板，且具有保持该接受前述异形基板的吸取保持功能的方式设置；
旋转轴，在前述第三移动体移动路正上方的定置式支持构件上作自由旋转，且垂直于轴承的轴线；
旋转支持构件，是设置在该旋转轴下端，前述旋转支持构件为水平设置且两端间的中央固定；
2D雷射位移计，装设于该旋转支持构件下面前述旋转轴的轴芯位置，且对焦于前述桌台上的前述异形基板边缘而设置；
线感应器，是在前述旋转支持构件一端对焦于前述桌台上的前述异形基板边缘而设置；
照明装置，是以照射前述旋转支持构件另一端侧的前述2D雷射位移计及前述线感应器的焦点的方式设置；
驱动机构，是以使前述线感应器的焦点朝向法线方向并使前述旋转轴可逆驱动的方式设置；及
相机，是以在前述支持构件侧读取前述异形基板板面的标记的方式设置，将前述2D雷射位移计及前述线感应器所行检查取为影像，并判定前述异形基板为良品或不良品。
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