[实用新型]异形基板边缘检查装置

说明书

本实用新型提供一种异形基板边缘检查装置，包括以数值控制进退移动机构B在左右方向进退移动的第一移动体C、在第一移动体C移动路单侧以数值控制进退移动机构E在前后方向进退移动的第二移动体F、在第二移动体F上接受供给异形基板X的桌台G、以在第一移动体上C自由旋转的方式轴承且固定于旋转轴10下端的旋转支持构件11、装设于旋转支持构件11下面且对焦于桌台G上的异形基板X边缘的2D雷射位移计12、在旋转支持构件11一端对焦于桌台G上的异形基板X边缘的线感应器13、照射旋转支持构件11另一端侧的2D雷射位移计12及线感应器13的焦点的照明装置14、及使线感应器13的焦点朝向法线方向且使旋转轴10可逆驱动的驱动机构H。

技术领域

本实用新型涉及一种在折割分割端材后检查异形基板边缘的装置。

背景技术

现有的异形基板，是通过在基板划上异形裁切线(包括用以分割端材的半裁线)后，折割(分割)该裁切线而得异形基板(例如参照专利文献1)。

[背景技术文献]

[专利文献]

专利文献1：日本实用新型登录第3216017号公报。

实用新型内容

[本实用新型所欲解决的课题]

又，专利文献1所得异形基板边缘有碎屑(蛤状缺损)、或随着分割从边缘往基板方向破裂，又，随着端子伤害或端材折割(分割)会在折割缘存在分割残渣片。

因以操作者目视检查所述的这些碎屑或破裂、端子伤害及残渣片，故效率不佳。

又，因为目视故无法完全检测，往往有因选别疏失而于良品中混入不良品的问题。

因此，本实用新型提供解决前述问题的检查装置。

[用以解决课题的手段]

为了解决前述课题，本实用新型采用的技术方案包括：

1.一种异形基板边缘检查装置，其特征在于，包括：

第一移动体，是以移动引导机构在左右方向移动，且以数值控制进退移动机构进退移动的方式设置；

第二移动体，是以在该第一移动体移动路单侧以移动引导机构在前后方向移动，且以数值控制进退移动机构进退移动的方式设置；

桌台，是以在该第二移动体上于上面接受供给异形基板，且具有保持该接受前述异形基板的吸取保持功能的方式设置；

旋转轴，在前述第一移动体上的支持构件上作自由旋转，且垂直于轴承的轴线；

旋转支持构件，是设置在该旋转轴下端，前述旋转支持构件为水平设置且两端间的中央固定；

2D雷射位移计，装设于该旋转支持构件下面前述旋转轴的轴芯位置，且对焦于前述桌台上的前述异形基板边缘而设置；

线感应器，是在前述旋转支持构件一端对焦于前述桌台上的前述异形基板边缘而设置；

照明装置，是以照射前述旋转支持构件另一端侧的前述2D雷射位移计及线感应器的焦点的方式设置；

驱动机构，是以使前述线感应器的焦点朝向法线方向并使前述旋转轴可逆驱动的方式设置；以及

相机，是以在前述第一移动体侧读取前述异形基板板面的标记的方式设置，将前述2D雷射位移计及前述线感应器所行检查取为影像，并判定前述异形基板为良品或不良品。

一种异形基板边缘检查装置，其特征在于，包括：

第三移动体，是以移动引导机构在左右方向移动，且以数值控制进退移动机构进退移动的方式设置；