[实用新型]一种镀膜生产线装置用的高效抽气系统有效
| 申请号： | 201920241613.2 | 申请日： | 2019-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN209685908U | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 武文全 | 申请（专利权）人： | 佛山市佛欣真空技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 34138 芜湖思诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 崔金<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 528200 广东省佛山市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空泵 泵室 真空镀膜室 固定设置 本实用新型 分流通道 内部位置 真空镀膜技术 左右对称结构 镀膜生产线 抽气系统 镀膜膜层 左右两侧 产出率 均匀性 速率和 成膜 抽气 底端 两边 | ||
1.一种镀膜生产线装置用的高效抽气系统，包括真空镀膜室(5)和设置在真空镀膜室(5)底端的第一泵室(2)，其特征在于，所述第一泵室(2)的内部位置处固定设置有第一真空泵(1)，所述第一泵室(2)的一侧固定设置有第二泵室(12)，所述第二泵室(12)的内部位置处固定设置有第二真空泵(11)，所述第一真空泵(1)的一端固定连接于真空镀膜室(5)的底端，所述第一真空泵(1)的另一端位置处固定连接有第一分流通道(4)，所述第二真空泵(11)的一端固定连接于真空镀膜室(5)的底端，所述第二真空泵(11)的另一端固定连接有第二分流通道(9)，所述第二分流通道(9)和第一分流通道(4)之间固定连接有连接通道(8)，所述连接通道(8)的侧面固定设置有出气通道(7)，所述出气通道(7)的内部位置处固定设置有过滤吸附层(6)，所述第一真空泵(1)的侧面固定设置有第一蝶阀(3)，所述第一蝶阀(3)的一侧固定安装有第一电机(15)，所述第二真空泵(11)的侧面固定设置有第二蝶阀(10)，所述第二蝶阀(10)的一侧固定安装有第二电机(17)，所述真空镀膜室(5)的侧面位置处固定设置有电机控制器(13)。
2.根据权利要求1所述的一种镀膜生产线装置用的高效抽气系统，其特征在于，所述第一蝶阀(3)一侧位置处固定连接有第一连接轴(14)，所述第一电机(15)的输出端与第一连接轴(14)的一端固定连接，所述第二蝶阀(10)的侧面位置处固定连接有第二连接轴(18)，所述第二电机(17)的输出端与第二连接轴(18)的一端固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种镀膜生产线装置用的高效抽气系统，其特征在于，所述第一电机(15)和第二电机(17)的输入端均与电机控制器(13)的输出端电性连接。
4.根据权利要求1所述的一种镀膜生产线装置用的高效抽气系统，其特征在于，所述过滤吸附层(6)是一种活性炭吸附过滤层构件。
5.根据权利要求1所述的一种镀膜生产线装置用的高效抽气系统，其特征在于，所述出气通道(7)的侧面固定设置有单向开关阀(16)。
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