[实用新型]一种镀膜生产线装置用的高效抽气系统

说明书

本实用新型公开了一种镀膜生产线装置用的高效抽气系统，涉及真空镀膜技术领域，包括真空镀膜室和设置在真空镀膜室底端的第一泵室，所述第一泵室的内部位置处固定设置有第一真空泵，所述第一泵室的一侧固定设置有第二泵室，所述第二泵室的内部位置处固定设置有第二真空泵，所述第一真空泵的一端固定连接于真空镀膜室的底端，本实用新型设置了第一泵室、第一真空泵、第二真空泵、第二泵室、第一分流通道和第二分流通道，使得气体从左右两侧被抽走，采用了第一真空泵和第二真空泵，提高了整体的抽气速度，同时采用左右对称结构设计使气体从左右两边均匀抽走，能改善镀膜膜层的成膜速率和均匀性，提高了成品产出率。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体是一种镀膜生产线装置用的高效抽气系统。

背景技术

镀膜生产线需用到真空镀膜机设备，真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，真空镀膜机生产镀膜时需要用到抽气系统。

然而传统的镀膜生产线装置用抽气系统工作时抽气时间长，工艺局限性大，很大程度上限制了镀膜的产出和应用，气体抽吸不均匀，对镀膜膜层的成膜速率和均匀性造成了影响，降低了成品产出率，并且不能调控抽气的速度，无法调节真空镀膜室内动态时的真空度，因此，本领域技术人员提供了一种镀膜生产线装置用的高效抽气系统。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种镀膜生产线装置用的高效抽气系统，以解决上述背景技术中提出传统的镀膜生产线装置用抽气系统工作时抽气时间长，工艺局限性大，很大程度上限制了镀膜的产出和应用，气体抽吸不均匀，对镀膜膜层的成膜速率和均匀性造成了影响，降低了成品产出率，并且不能调控抽气的速度，无法调节真空镀膜室内动态时的真空度的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种镀膜生产线装置用的高效抽气系统，包括真空镀膜室和设置在真空镀膜室底端的第一泵室，所述第一泵室的内部位置处固定设置有第一真空泵，所述第一泵室的一侧固定设置有第二泵室，所述第二泵室的内部位置处固定设置有第二真空泵，所述第一真空泵的一端固定连接于真空镀膜室的底端，所述第一真空泵的另一端位置处固定连接有第一分流通道，所述第二真空泵的一端固定连接于真空镀膜室的底端，所述第二真空泵的另一端固定连接有第二分流通道，所述第二分流通道和第一分流通道之间固定连接有连接通道，所述连接通道的侧面固定设置有出气通道，所述出气通道的内部位置处固定设置有过滤吸附层，所述第一真空泵的侧面固定设置有第一蝶阀，所述第一蝶阀的一侧固定安装有第一电机，所述第二真空泵的侧面固定设置有第二蝶阀，所述第二蝶阀的一侧固定安装有第二电机，所述真空镀膜室的侧面位置处固定设置有电机控制器。

作为本实用新型进一步的方案：所述所述第一蝶阀一侧位置处固定连接有第一连接轴，所述第一电机的输出端与第一连接轴的一端固定连接，所述第二蝶阀的侧面位置处固定连接有第二连接轴，所述第二电机的输出端与第二连接轴的一端固定连接。

作为本实用新型再进一步的方案：所述第一电机和第二电机的输入端均与电机控制器的输出端电性连接。

作为本实用新型再进一步的方案：所述过滤吸附层是一种活性炭吸附过滤层构件。

作为本实用新型再进一步的方案：所述出气通道的侧面固定设置有单向开关阀。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型设置了第一泵室、第一真空泵、第二真空泵、第二泵室、第一分流通道和第二分流通道，使得气体从左右两侧被抽走，采用了第一真空泵和第二真空泵，提高了整体的抽气速度，同时采用左右对称结构设计使气体从左右两边均匀抽走，能改善镀膜膜层的成膜速率和均匀性，提高了成品产出率。