[实用新型]一种板式PECVD下料系统有效
| 申请号： | 201920251285.4 | 申请日： | 2019-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN209816276U | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 宋亮;劳宏彬;谢军;杜广黔;王振;廉万里 | 申请（专利权）人： | 铜仁梵能移动能源有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/54 | 分类号： | C23C16/54 |
| 代理公司： | 52116 贵阳易博皓专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 张浩宇;杨晓欣 |
| 地址： | 554300 贵州省铜*** | 国省代码： | 贵州;52 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石墨载板 下料平台 滚动轴承 本实用新型 传输轮 防磨 传送 螺母 使用寿命 下料系统 板式 可转动 流畅性 隔开 生产成本 摩擦 保证 生产 | ||
【权利要求书】：
1.一种板式PECVD下料系统，包括石墨载板(1)、下料平台(2)和若干组用于传送石墨载板的传输轮(3)，其特征在于：在位于传送石墨载板最后一组的传输轮(3)上加装有滚动轴承(4)，位于传送石墨载板最后一组的传输轮(3)通过滚动轴承(4)和螺母(5)连接在轴(6)上；在所述的石墨载板(1)和下料平台(2)之间安装有可转动的防磨组件(11)，通过防磨组件(11)将石墨载板(1)和下料平台(2)隔开。
2.根据权利要求1所述的板式PECVD下料系统，其特征在于：所述的防磨组件(11)由轴承(7)、滚动轴套(8)、固定螺母(9)和固定轴(10)组成，所述的滚动轴套(8)套装在轴承(7)上，所述的轴承(7)通过固定螺母(9)连接在固定轴(10)上。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
