[实用新型]一种板式PECVD下料系统

说明书

本实用新型公开了一种板式PECVD下料系统，它在位于传送石墨载板最后一组的传输轮(3)上加装有滚动轴承(4)，位于传送石墨载板最后一组的传输轮(3)通过滚动轴承(4)和螺母(5)连接在轴(6)上；在石墨载板(1)和下料平台(2)之间安装有可转动的防磨组件(11)，通过防磨组件(11)将石墨载板(1)和下料平台(2)隔开。本实用新型降低了石墨载板与下料平台之间的摩擦，大大提高了石墨载板的使用寿命，保证了生产线生产的流畅性，降低了生产成本，提高了经济效益。

技术领域

本实用新型涉及一种生产晶硅太阳能电池的板式PECVD设备，特别涉及一种板式PECVD下料系统，属于晶硅太阳能电池生产设备技术领域。

背景技术

太阳能电池又称为“太阳能芯片”或“光电池”，是一种利用太阳光直接发电的光电半导体薄片。它只要被光照到，瞬间可输出电压并在有回路的情况下产生电流。在物理学上称为太阳能光伏，简称光伏，核心部件是太阳能电池片，其制造过程分为制绒-扩散-刻蚀-PECVD镀膜-丝网印刷-测试分选，目前PECVD设备分为板式PECVD和管式PECVD。板式PECVD采用石墨载板承载硅片，石墨载板往复生产使用极易损毁，石墨质软，与金属摩擦损坏较快，严重影响使用寿命，增加生产成本。

实用新型内容

本实用新型所要解决的问题在于提供一种优化的板式PECVD下料系统，在不对原有设备进行大改动的情况下，可以降低备件损耗，降低生产成本，从而提高生产效益。

为解决上述技术问题，本实用新型采用如下的技术方案：

一种板式PECVD下料系统，它括石墨载板、下料平台和用于传送石墨载板的若干组传输轮，在位于传送石墨载板最后一组的传输轮上加装有滚动轴承，位于传送石墨载板最后一组的传输轮通过滚动轴承和螺母固定连接在轴上；在所述的石墨载板和下料平台之间安装有可转动的防磨组件，通过防磨组件将石墨载板和下料平台隔开。

上述的板式PECVD下料系统中，作为一种优选方案，所述的防磨组件由轴承、滚动轴套、固定螺母和固定轴组成，所述的滚动轴套套装在轴承上，所述的轴承通过固定螺母连接在固定轴上。

本实用新型的有益效果：与现有技术相比，本实用新型通过在位于传送石墨载板最后一组的传输轮上加装滚动轴承，改变板式PECVD下料平台的转动方式为滚动方式，同时在石墨载板和下料平台之间加装可转动的石墨载板防磨组件，降低了石墨载板与下料平台之间的摩擦，达到在下板过程中最大程度降低磨损的效果，大大提高了石墨载板的使用寿命，保证了生产线生产的流畅性，降低了生产成本，提高了经济效益。本实用新型结构简单，用料便宜，易于改造实现，在后加装的载板传输系统中也能起到很大作用。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的传输轮的结构示意图；

图3为现有技术的传输轮的结构示意图；

图4为本实用新型的防磨组件的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步详细的说明。

实施例1：如图1、2所示，包括石墨载板1、下料平台2和若干组用于传送石墨载板的传输轮3，在位于传送石墨载板最后一组的传输轮3上加装有滚动轴承4，位于传送石墨载板最后一组的传输轮3通过滚动轴承4和螺母5连接在轴6上；在石墨载板1和下料平台2之间还安装有多组可转动的防磨组件11，通过防磨组件11将石墨载板1和下料平台2隔开。如图4所示，防磨组件11由轴承7、滚动轴套8、固定螺母9和固定轴10组成，滚动轴套8套装在轴承7上，轴承7通过固定螺母9连接在固定轴10上。