[实用新型]一种基于氮化硅的激光器

权利要求书

1.一种基于氮化硅的激光器，包括：沿着光路方向上依次设置的泵浦源、反射镜面、增益介质、用于产生激光的生成器及与所述的生成器相连接的控制器，所述的反射镜面用于将来自泵浦源的激光进行反射，所述的增益介质用于将反射过来的激光进行放大，其特征在于，所述的生成器为氮化硅器件。

2.根据权利要求1所述的基于氮化硅的激光器，其特征在于，所述的生成器包括光波导、环形谐振腔、谐振器及激光输出接口，所述的光波导用于将放大过的激光导入到所述的环形谐振腔进行谐振，再将谐振后的激光导出到激光输出接口以输出激光，所述的谐振器控制谐振频率。

3.根据权利要求1所述的基于氮化硅的激光器，其特征在于，所述的反射镜面具有高反射镀层，至少镀在相对于所述的增益介质的一端。

4.根据权利要求1所述的基于氮化硅的激光器，其特征在于，所述的增益介质采用三五族增益介质。

5.根据权利要求1所述的基于氮化硅的激光器，其特征在于，所述的反射镜面和增益介质通过边缘耦合在第一芯片上，所述的控制器和生成器通过边缘耦合在第二芯片上。

6.根据权利要求1所述的基于氮化硅的激光器，其特征在于，所述的反射镜面和增益介质通过微棱镜耦合在第一芯片上，所述的控制器和生成器通过微棱镜耦合在第二芯片上。

7.根据权利要求2所述的基于氮化硅的激光器，其特征在于，所述的谐振器包括以下功能模块：

频率接收模块，用于接收用户需要的谐振频率数值；

微处理模块，用于根据所述的谐振频率数值向谐振电机驱动模块发出指令；

谐振电机驱动模块，用于根据所述的指令驱动谐振电机的运转；

谐振电机，用于按所述的谐振频率数值实现环形谐振腔的物理谐振运动。

8.根据权利要求2所述的基于氮化硅的激光器，其特征在于，所述的环形谐振腔为内壁具有反射镜面的氮化硅微腔。

9.根据权利要求1所述的基于氮化硅的激光器，其特征在于，所述的控制器包括波长调节单元，用于调节激光的光波的波长。

10.根据权利要求2所述的基于氮化硅的激光器，其特征在于，所述的控制器集成了所述的谐振器。