[实用新型]一种基于氮化硅的激光器

说明书

本实用新型提出了一种基于氮化硅的激光器，包括：沿着光路方向上依次设置的泵浦源、反射镜面、增益介质、用于产生激光的生成器及与所述的生成器相连接的控制器，所述的反射镜面用于将来自泵浦源的激光进行反射，所述的增益介质用于将反射过来的激光进行放大，所述的生成器为氮化硅器件。本实用新型的一种基于氮化硅的激光器,运用氮化硅芯片，可以极大的简化激光的系统复杂程度并且降低成本。

技术领域

本实用新型涉及一种激光器，特别涉及一种基于氮化硅的激光器。

背景技术

半导体激光器是目前光通信系统中最为重要的光源，在通信中现有的半导体激光器一般为DFB激光器(Distributed Feedback Laser，分布式反馈激光器)或FP激光器(Fabry-perot激光器)，DFB激光器和FP激光器成本较低，体积较小、能耗低，但是DFB激光器和FP激光器的调谐较复杂，在下一代无源光网络(NG-PON2)和5G移动无线接入系统的光承载网中需要用到大量的低成本连续可调激光器，市场需求量非常大。

目前，传统的技术方案结构复杂、成本高，尚不能满足要求。此外DFB激光器的线宽一般在MHz及以上，FP激光器的线宽更宽，使其不能满足于自动驾驶技术核心部件激光雷达LIDAR等应用的需要，并且最终会制约通信的数据量。而且，现有技术中的窄线宽可调的激光器都是基于外腔的激光器，基于外腔的激光器一般体积都较大，且售价很贵，约为一万美元以上，所以尽管新兴产业中对激光器的需求很大，但成本问题大大制约了激光器的普及，及相关应用产业的发展。

实用新型内容

为了解决现有技术中激光器体积大、成本高的不足，本实用新型提供一种基于氮化硅的激光器。

本实用新型公开了一种基于氮化硅的激光器，包括：沿着光路方向上依次设置的泵浦源、反射镜面、增益介质、用于产生激光的生成器及与所述的生成器相连接的控制器，所述的反射镜面用于将来自泵浦源的激光进行反射，所述的增益介质用于将反射过来的激光进行放大，所述的生成器为氮化硅器件。

进一步地，所述的生成器包括光波导、环形谐振腔、谐振器及激光输出接口，所述的光波导用于将放大过的激光导入到所述的环形谐振腔进行谐振，再将谐振后的激光导出到激光输出接口以输出激光，所述的谐振器控制谐振频率。

进一步地，所述的反射镜面具有高反射镀层，至少镀在相对于所述的增益介质的一端。

进一步地，所述的增益介质采用三五族增益介质。

进一步地，所述的反射镜面和增益介质通过边缘耦合在第一芯片上，所述的控制器和生成器通过边缘耦合在第二芯片上。

进一步地，所述的反射镜面和增益介质通过微棱镜耦合在第一芯片上，所述的控制器和生成器通过微棱镜耦合在第二芯片上。

进一步地，所述的谐振器包括以下功能模块：

频率接收模块，用于接收用户需要的谐振频率数值；

微处理模块，用于根据所述的谐振频率数值向谐振电机驱动模块发出指令；

谐振电机驱动模块，用于根据所述的指令驱动谐振电机的运转；

谐振电机，用于按所述的谐振频率数值实现环形谐振腔的物理谐振运动。

进一步地，所述的环形谐振腔为内壁具有反射镜面的氮化硅微腔。

进一步地，所述的控制器包括波长调节单元，用于调节激光的光波的波长。

进一步地，所述的控制器集成了所述的谐振器。

实施本实用新型的一种基于氮化硅的激光器，具有以下有益的技术效果：