[实用新型]一种用于单晶炉夹取晶棒时的对中装置有效
申请号: | 201920262798.5 | 申请日: | 2019-03-01 |
公开(公告)号: | CN209619503U | 公开(公告)日: | 2019-11-12 |
发明(设计)人: | 张军强;丁宁;田增国;李仕豪;李宇翔;姜宝柱 | 申请(专利权)人: | 洛阳德晶智能科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/30 | 分类号: | C30B15/30;C30B29/06 |
代理公司: | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 | 代理人: | 薛布赫 |
地址: | 471000 河南省洛阳市中国(河南)自*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 测距器 炉门 壳体 位置确定组件 抓取 本实用新型 定位组件 对中装置 方向确定 左右两侧 测量夹 单晶炉 定位器 夹取 晶棒 对称设置 控制组件 人工操作 组件包括 标线器 辅助夹 辅助线 炉内壁 投射 侧壁 调平 生产成本 体内 | ||
1.一种用于单晶炉夹取晶棒时的对中装置,包括与用于取晶棒(6)的夹爪可拆卸连接的壳体(1)、设置在壳体(1)内的控制组件(2)、设置在壳体(1)上的方向确定组件(3)、位置确定组件(4)以及抓取定位组件(5);其特征在于:
方向确定组件(3)包括用于向炉门侧壁上投射辅助夹爪调平的辅助线的标线器;位置确定组件(4)包括用于分别测量夹爪的左右两侧与炉门之间距离的左侧测距器(401)和右侧测距器(402);抓取定位组件(5)包括用于分别测量夹爪的左右两侧与炉内壁之间距离的左定位器(501)和右定位器(502);
其中,左侧测距器(401)和右侧测距器(402)之间的距离大于炉门的宽度并水平的对称设置在壳体(1)面向炉门的一侧;
其中,左定位器(501)和右定位器(502)之间的距离等于炉门的宽度并水平的对称设置在壳体(1)面向炉门的一侧;
其中,左侧测距器(401)和右侧测距器(402)和右定位器(502)均与控制组件(2)电连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉夹取晶棒时的对中装置,其特征在于:还包括显示器(7);控制组件(2)与显示器(7)电连接,用于显示辅助操作工人操作的指示信号。
3.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉夹取晶棒时的对中装置,其特征在于:还包括通信模块;控制组件(2)与通信模块电连接,用于将位置确定组件(4)、抓取定位组件(5)的信号无线传输至远端上位机。
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