[实用新型]一种用于单晶炉夹取晶棒时的对中装置

说明书

为解决现有技术中人工操作易掉棒的问题，本实用新型提供一种用于单晶炉夹取晶棒时的对中装置，包括壳体、设置在壳体内的控制组件、设置在壳体上的方向确定组件、位置确定组件以及抓取定位组件；方向确定组件包括用于向炉门侧壁上投射辅助夹爪调平的辅助线的标线器；位置确定组件包括用于分别测量夹爪的左右两侧与炉门之间距离的左侧测距器和右侧测距器；抓取定位组件包括用于分别测量夹爪的左右两侧与炉内壁之间距离的左定位器和右定位器；左侧测距器和右侧测距器之间的距离大于炉门的宽度并水平的对称设置在壳体面向炉门的一侧。本实用新型可靠性高，使用后，大大提升了可靠性，减少了企业的生产成本。

技术领域

本实用新型涉及硅单晶生产领域，尤其涉及一种在生产中用于单晶炉夹取晶棒时的辅助对中的对中装置及其夹取晶棒的方法。

背景技术

硅单晶是制造IC集成电路和太阳能电池的关键材料，随着中国半导体产业的快速发展，中国将成为仅次于美国的世界第二大半导体市场。

直拉单晶炉是制备硅单晶的主要设备，将多晶硅加热融化，通过旋转提拉得到单晶晶棒，由籽晶将晶棒悬挂于上炉室。由于籽晶较细，材质较脆，且晶棒质量较大，籽晶容易断裂，导致晶棒跌落，损伤晶棒及下炉室，造成巨大经济损失，因此单晶炉取棒是要求较高且复杂度较高的操作。

现有的取棒方法通常为叉车加装机械夹爪，通过人工操作取棒车进行取棒，夹爪定位难度较大，存在较大的掉棒风险。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，为解决现有技术中人工操作易掉棒的问题，本实用新型提供一种用于单晶炉夹取晶棒时的对中装置。本实用新型通过多组传感器，辅助加装夹爪的移动载具，如叉车，与炉门对中，实现准确对中，有效的解决了夹爪定位难的问题。

为实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：一种用于单晶炉夹取晶棒时的对中装置，包括与用于取晶棒的夹爪可拆卸连接的壳体、设置在壳体内的控制组件、设置在壳体上的方向确定组件、位置确定组件以及抓取定位组件；其技术方案在于：方向确定组件包括用于向炉门侧壁上投射辅助夹爪调平的辅助线的标线器；位置确定组件包括用于分别测量夹爪的左右两侧与炉门之间距离的左侧测距器和右侧测距器；抓取定位组件包括用于分别测量夹爪的左右两侧与炉内壁之间距离的左定位器和右定位器；其中，左侧测距器和右侧测距器之间的距离大于炉门的宽度并水平的对称设置在壳体面向炉门的一侧；

其中，左定位器和右定位器之间的距离等于炉门的宽度并水平的对称设置在壳体面向炉门的一侧；其中，左侧测距器和右侧测距器和右定位器均与控制组件电连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：本实用新型首先根据方向确定组件辅助操作人员调整移动载具，保证夹爪与地面平行。然后，再利用位置确定组件，辅助操作人员将夹爪与炉门平行，最后利用抓取定位组件将夹爪与炉门正对。再夹爪伸入炉内抓取时，时刻关注夹爪与内炉壁的距离，在夹爪中心与晶棒中心重合时，提醒操作人员可以夹持，从而保证夹持准确率。本实用新型可靠性高，使用后，大大提升了可靠性，降低了企业的生产成本。

附图说明

图1为本实用新型的立体图。

图2为图1的部分视图。

图3为本实用新型使用示意图。

图4为控制组件中的嵌入式微控制器的电路图。

图5为控制组件中的制组件中的RS232通信电路。

图6为控制组件中的左定位器、左侧测距器与嵌入式微控制器连接的电路图。

图7为控制组件中的右定位器、右侧测距器与嵌入式微控制器连接的电路图。

图8为控制组件中的WIFI模块与嵌入式微控制器连接的电路图。

图9为电源模块电路图。