[实用新型]极大规模集成电路用超高纯硝酸生产线有效
| 申请号： | 201920267271.1 | 申请日： | 2019-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN210012601U | 公开（公告）日： | 2020-02-04 |
| 发明（设计）人： | 殷金虎;李超;朱永祥 | 申请（专利权）人： | 江阴市化学试剂厂有限公司 |
| 主分类号： | C01B21/46 | 分类号： | C01B21/46;C01B21/40 |
| 代理公司： | 11638 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 王新爱 |
| 地址： | 214420 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 冷凝塔 精馏塔 预加热 超滤器 微滤器 连通 成品罐 废液罐 过热器 原料罐 热交换 极大规模集成电路 加热器 本实用新型 超高纯硝酸 精馏塔顶部 常温原料 成品纯度 底部出口 废气出口 高温溶液 两次过滤 能耗降低 生产效率 硝酸溶液 依次串联 超高纯 塔顶部 硝酸 预热 产线 紧凑 出口 能耗 残留 节约 | ||
1.一种极大规模集成电路用超高纯硝酸生产线，其特征在于：主要由原料罐(1)、精馏塔(2)、废液罐(4)、预加热塔(5)、冷凝塔一(6)、微滤器(7)、过热器(8)、冷凝塔二(9)、超滤器(10)、成品罐(11)、吸废塔(12)构成；所述原料罐(1)通过管路与精馏塔(2)相连通，所述原料罐(1)与精馏塔(2)之间的管路上设置有计量阀；所述精馏塔(2)的底部设置有塔釜加热器(3)，所述塔釜加热器(3)与精馏塔(2)相连通；所述塔釜加热器(3)的底部出液口通过管路与废液罐(4)相连通，所述塔釜加热器(3)与废液罐(4)之间的管路上设置有单向阀；所述废液罐(4)的出液口通过管路与精馏塔(2)相连通，所述废液罐(4)与精馏塔(2)之间的管路上设置有循环泵；上述精馏塔的顶部出口通过管路与预加热塔(5)相连通，所述预加热塔(5)的底部出液口通过管路与精馏塔(2)相连通；所述预加热塔(5)的顶部出口通过管路与冷凝塔一(6)相连通；所述冷凝塔一(6)的顶部出口通过管路与吸废塔(12)相连通；所述冷凝塔一(6)的底部出口通过管路与微滤器(7)相连通；上述微滤器(7)的底部出口通过管路与过热器(8)相连通；所述过热器(8)的顶部出口通过管路与冷凝塔二(9)相连通，所述冷凝塔二(9)的顶部出口通过管路与吸废塔(12)相连通；所述冷凝塔二(9)的底部出口通过管路与超滤器(10)相连通；所述超滤器(10)的底部出口通过管路与成品罐(11)相连通。
2.如权利要求1所述一种极大规模集成电路用超高纯硝酸生产线，其特征在于：所述吸废塔(12)的内腔顶部设有喷淋装置，吸废塔(12)的侧壁设置有纯氧进气口(13)；所述吸废塔(12)的底部出口通过管路与精馏塔(2)相连通，所述吸废塔(12)与精馏塔(2)的管路上设置有循环泵。
3.如权利要求2所述一种极大规模集成电路用超高纯硝酸生产线，其特征在于：所述吸废塔(12)的内腔设置有玻璃填料，玻璃填料位于喷淋装置的下方。
4.如权利要求1所述一种极大规模集成电路用超高纯硝酸生产线，其特征在于：所述微滤器(7)的滤芯采用微米级的PP材质滤芯。
5.如权利要求1所述一种极大规模集成电路用超高纯硝酸生产线，其特征在于：所述超滤器(10)的滤芯采用全氟材质，滤芯精度为亚微米级。
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