[实用新型]极大规模集成电路用超高纯硝酸生产线

说明书

本实用新型一种极大规模集成电路用超高纯硝酸生产线,主要由原料罐、精馏塔、废液罐、预加热塔、冷凝塔一、微滤器、过热器、冷凝塔二、超滤器、成品罐、吸废塔构成；所述原料罐与精馏塔连通，所述精馏塔底部出口与废液罐连通，精馏塔顶部出口与预加热塔相连通；所述预加热塔顶部出口通过管路依次串联冷凝塔一、微滤器、过热器、冷凝塔二、超滤器、成品罐；冷凝塔一和冷凝塔二的顶部废气出口分别与吸废塔连通；本产线通过预加热塔进将塔内残留的高温溶液液抽至精馏塔内与刚进入的常温原料进行热交换，对原料进行预热，降低加热器的能耗，节约了成本，通过微滤器和超滤器对硝酸溶液进行两次过滤，使产出的硝酸达到超高纯级标准，结构简单紧凑，能耗降低，成品纯度高，生产效率高。

技术领域

本实用新型涉及一种极大规模集成电路用超高纯硝酸生产线，属于电子化学品生产设备技术领域。

背景技术

超净高纯化学试剂又称微电子化学品，是电子技术微细加工制作过程中不可缺少的的关键性基础化工材料之一，主要用于芯片的清洗和腐蚀，其纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性有着十分重大的影响。超高纯硝酸是一种十分重要的微电子化学试剂，通常是以工业级硝酸为原料纯化精制而成，工业级硝酸存在有各种金属和非金属杂质。目前超高纯硝酸的制备工艺主要有亚沸蒸馏法、精馏法等，规模生产硝酸主要采用连续精馏法，95％以上浓度的硝酸，具有较高的挥发度及稳定性，其中所含杂质大多是硝酸盐，具有很高的沸点，在精馏过程中可在塔釜中分离出去，但是个别与硝酸挥发度相近的杂质难以去除，所以一般工业硝酸通过精馏后，其杂质含量仍无法达到超纯硝酸的标准。传统的大规模硝酸产线，结构复杂，精馏所需加热设备较多，能耗大，产生的大量废水废气较难处理，也会对环境产生一定影响。

发明内容

本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种结构简单、能耗低、产品纯度高，生产效率高、废液废气可循环利用的极大规模集成电路用超高纯硝酸生产线。

本实用新型的目的是这样实现的：

一种极大规模集成电路用超高纯硝酸生产线，主要由原料罐、精馏塔、废液罐、预加热塔、冷凝塔一、微滤器、过热器、冷凝塔二、超滤器、成品罐、吸废塔构成；所述原料罐通过管路与精馏塔相连通，所述原料罐与精馏塔之间的管路上设置有计量阀；所述精馏塔的底部设置有塔釜加热器，所述塔釜加热器与精馏塔相连通；所述塔釜加热器的底部出液口通过管路与废液罐相连通，所述塔釜加热器与废液罐之间的管路上设置有单向阀；所述废液罐的出液口通过管路与精馏塔相连通，所述废液罐与精馏塔之间的管路上设置有循环泵；上述精馏塔的顶部出口通过管路与预加热塔相连通，所述预加热塔的底部出液口通过管路与精馏塔相连通；所述预加热塔的顶部出口通过管路与冷凝塔一相连通；所述冷凝塔一的顶部出口通过管路与吸废塔相连通；所述冷凝塔一的底部出口通过管路与微滤器相连通；上述微滤器的底部出口通过管路与过热器相连通；所述过热器的顶部出口通过管路与冷凝塔二相连通，所述冷凝塔二的顶部出口通过管路与吸废塔相连通；所述冷凝塔二的底部出口通过管路与超滤器相连通；所述超滤器的底部出口通过管路与成品罐相连通；

本实用新型一种极大规模集成电路用超高纯硝酸生产线，所述吸废塔的内腔顶部设有喷淋装置，吸废塔的侧壁设置有纯氧进气口；所述吸废塔的底部出口通过管路与精馏塔相连通，所述吸废塔与精馏塔的管路上设置有循环泵；

本实用新型一种极大规模集成电路用超高纯硝酸生产线，所述吸废塔的内腔设置有玻璃填料，玻璃填料位于喷淋装置的下方；

本实用新型一种极大规模集成电路用超高纯硝酸生产线，所述微滤器的滤芯采用微米级的PP材质滤芯；

本实用新型一种极大规模集成电路用超高纯硝酸生产线，所述超滤器的滤芯采用全氟材质，滤芯精度为亚微米级；

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：