[实用新型]可适用于分子束外延生长及原位表征的样品托有效
| 申请号： | 201920269365.2 | 申请日： | 2019-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN209854241U | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 张宏;张冬;马志博 | 申请（专利权）人： | 苏州华杨赛斯真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/22;C23C14/54 |
| 代理公司： | 32102 南京苏科专利代理有限责任公司 | 代理人： | 姚姣阳 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 样品承载板 触点 热电偶丝 热电偶 固定设置 引入 本实用新型 分子束外延 交叉设置 原位表征 样品托 穿入 下端 生长 | ||
1.一种可适用于分子束外延生长及原位表征的样品托，其特征在于：包括一块样品承载板（2）以及两根热电偶引入触点棒（7），两根所述热电偶引入触点棒（7）均固定设置于所述样品承载板（2）的下端，所述样品承载板（2）上固定设置有样品（3），所述样品承载板（2）上还设置有两根热电偶丝（5），两根所述热电偶丝（5）的一端均分别穿入一根所述热电偶引入触点棒（7）内部，两根所述热电偶丝（5）的另一端交叉设置并形成一个触点，所述触点位于所述样品（3）与所述样品承载板（2）之间。
2.根据权利要求1所述的可适用于分子束外延生长及原位表征的样品托，其特征在于：所述样品承载板（2）为不锈钢板或钼板。
3.根据权利要求1所述的可适用于分子束外延生长及原位表征的样品托，其特征在于：所述样品承载板（2）上端设置有用于设备机械手抓取的抓手部（1），所述抓手部（1）与所述样品承载板（2）一体成型，所述抓手部（1）上还开设有一抓取孔，所述抓取孔位于所述样品承载板（2）垂直方向的中轴线上。
4.根据权利要求1所述的可适用于分子束外延生长及原位表征的样品托，其特征在于：所述样品承载板（2）上还设置有至少两根用于压住所述样品（3）的固定丝（4），所述固定丝（4）的两端均与所述样品承载板（2）焊接固定，所述样品（3）嵌设固定于所述固定丝（4）与所述样品承载板（2）之间。
5.根据权利要求4所述的可适用于分子束外延生长及原位表征的样品托，其特征在于：所述样品承载板（2）上设置有两根所述固定丝（4），两根所述固定丝（4）的两端均与所述样品承载板（2）通过点焊方式固定，所述固定丝（4）为直径为0.05mm的钽丝。
6.根据权利要求1所述的可适用于分子束外延生长及原位表征的样品托，其特征在于：所述热电偶引入触点棒（7）的主体呈圆柱状结构，所述热电偶引入触点棒（7）的下端部为倒置圆锥状结构，所述热电偶引入触点棒（7）的上端与所述样品承载板（2）的下端固定连接。
7.根据权利要求1所述的可适用于分子束外延生长及原位表征的样品托，其特征在于：所述热电偶引入触点棒（7）的上端部开设有至少一个中空小孔，两根所述热电偶丝（5）的一端均分别穿入一根所述热电偶引入触点棒（7）上的所述中空小孔内，两根所述热电偶丝（5）的另一端交叉点焊固定。
8.根据权利要求1所述的可适用于分子束外延生长及原位表征的样品托，其特征在于：所述热电偶丝（5）为K型热电偶丝。
9.根据权利要求1所述的可适用于分子束外延生长及原位表征的样品托，其特征在于：所述样品承载板（2）上还设置有用于压住所述热电偶丝（5）的固定片（6），所述固定片（6）与所述样品承载板（2）焊接固定，两根所述热电偶丝（5）均嵌设固定于所述固定片（6）与所述样品承载板（2）之间。
10.根据权利要求9所述的可适用于分子束外延生长及原位表征的样品托，其特征在于：所述固定片（6）的边缘与所述样品承载板（2）通过点焊方式固定，所述固定片（6）为厚度为0.02mm的钽片。
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