[实用新型]一种磁芯电极镀膜装置及流水线

权利要求书

1.一种磁芯电极镀膜装置，其特征在于：包括立式基片架、侧式阴极溅射装置；所述立式基片架包括框架，设置在所述框架上侧的磁铁，设置在所述框架下侧的导轨，从上到下设置在所述框架前侧两边的多对定位柱，设置在每对定位柱上的磁芯治具，设置在所述框架前侧四角的螺钉孔，设置在所述框架前侧两边的压条，所述压条通过两端螺丝将多个所述磁芯治具固定在所述框架前侧，所述侧式阴极溅射装置设于镀膜室的一侧。

2.根据权利要求1所述一种磁芯电极镀膜装置，其特征在于：所述磁芯治具包括掩膜板、多个磁芯、多个弹片、磁芯架，所述掩膜板上设有多个与所述磁芯顶部结构匹配的日字型通孔，所述磁芯架上设有多个容纳所述磁芯和弹片装入的凹孔，所述日字型通孔和所述凹孔的孔之间分别设有相互匹配的螺丝孔，依次装入所述弹片、磁芯到所述磁芯架的凹孔中，再将所述掩膜板用螺丝固定在所述磁芯架上，所述掩膜板紧贴所述磁芯上表面；所述掩膜板和磁芯架的两端设有定位孔。

3.根据权利要求2所述一种磁芯电极镀膜装置，其特征在于：所述磁芯和弹片的上下面呈圆形。

4.根据权利要求2所述一种磁芯电极镀膜装置，其特征在于：所述掩膜板和磁芯架为金属材料制成。

5.根据权利要求1所述一种磁芯电极镀膜装置，其特征在于：所述框架为中间挖空的矩形板。

6.根据权利要求5所述一种磁芯电极镀膜装置，其特征在于：所述框架为金属板制成。

7.根据权利要求1所述一种磁芯电极镀膜装置，其特征在于：所述磁铁嵌入流水线体顶部的马鞍形磁铁中，所述导轨嵌入流水线体底部的凹形滑轮上。

8.一种磁芯电极镀膜流水线，其特征在于：包括权利要求1至7的所述一种磁芯电极镀膜装置，还包括进样室、进行样过渡室、镀膜室、出样过渡室、出样室，所述立式基片架通过所述流水线体，依次经过所述进样室、进样过渡室、镀膜室、出样过渡室、出样室进行流水线式镀膜生产。

9.根据权利要求8所述一种磁芯电极镀膜流水线，其特征在于：所述进样室对外设有第一阀门，所述进样室与进样过渡室之间设有第二阀门，所述进样过渡室与镀膜室之间设有第三阀门，所述镀膜室与出样过渡室之间设有第四阀门，所述出样过渡室与出样室之间设有第五阀门，所述出样室对外设有第六阀门。

10.根据权利要求8所述一种磁芯电极镀膜流水线，其特征在于：所述立式基片架的前侧正对所述侧式阴极溅射装置。