[实用新型]适用于多种材料的固定载具有效
| 申请号： | 201920302285.2 | 申请日： | 2019-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN209912861U | 公开（公告）日： | 2020-01-07 |
| 发明（设计）人： | 于阳 | 申请（专利权）人： | 南京矽邦半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L21/66 |
| 代理公司： | 32204 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 211800 江苏省南京市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 载具 本实用新型 滑落 多角度观察 避免污染 边缘斜角 防滑材料 防止材料 辅助检查 固定材料 环境标准 角度设计 平行凹槽 上下表面 损伤材料 有效控制 作业检查 耐磨损 适用度 挂孔 抽取 车间 | ||
【权利要求书】：
1.一种适用于多种材料的固定载具，包括载具，其特征在于，所述载具的上下表面均设有若干凹槽(1)，所述的凹槽(1)沿载具的长度方向开设，凹槽(1)的两侧均设有边缘斜角(2)。
2.根据权利要求1所述的适用于多种材料的固定载具，其特征在于，所述载具的两侧均设有挂孔(3)。
3.根据权利要求1或2所述的适用于多种材料的固定载具，其特征在于，所述的载具选用耐磨损、防滑材料。
4.根据权利要求1所述的适用于多种材料的固定载具，其特征在于，所述的凹槽(1)平行排列。
5.根据权利要求1或4所述的适用于多种材料的固定载具，其特征在于，所述凹槽(1)的尺寸不相同。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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