[实用新型]一种支撑用金属掩膜版和掩膜版组件有效
| 申请号： | 201920302809.8 | 申请日： | 2019-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN208965015U | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 王宝 | 申请（专利权）人： | 南京高光半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人： | 庄沙丽;徐冬涛 |
| 地址： | 210038 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金属掩膜 支撑 本实用新型 一体制作 掩膜版 成型 镂空网格结构 一体成型的 技术支撑 金属框架 精密金属 生产效率 网格结构 一次焊接 有机材料 镂空结构 交叉处 平整度 无缝隙 支撑条 多片 网格 掩膜 合金 拉网 残留 保证 | ||
【权利要求书】：
1.一种支撑用金属掩膜版，其特征在于：其是由整张INVAR合金一体制作成型的网格结构，所述支撑用金属掩膜版的网格为镂空结构。
2.根据权利要求1所述的支撑用金属掩膜版，其特征在于：所述支撑用金属掩膜版的网格为矩形或圆形或半圆形或椭圆形。
3.根据权利要求1所述的支撑用金属掩膜版，其特征在于：所述支撑用金属掩膜版的网格呈矩形阵列分布。
4.根据权利要求1所述的支撑用金属掩膜版，其特征在于：所述支撑用金属掩膜版一组相对的两个侧边分别具有条形边，支撑用金属掩膜版一组相对的两个侧边分别具有间隔设置的支持条。
5.一种金属掩膜版组件，其包括金属框架和焊接在金属框架上的支撑用金属掩膜版，其特征在于：所述支撑用金属掩膜版是由整张INVAR合金一体制作成型的网格结构，所述支撑用金属掩膜版的网格为镂空结构。
6.根据权利要求5所述的金属掩膜版组件，其特征在于：所述支撑用金属掩膜版的网格为矩形或圆形或半圆形或椭圆形。
7.根据权利要求5所述的金属掩膜版组件，其特征在于：所述支撑用金属掩膜版的网格呈矩形阵列分布。
8.根据权利要求5所述的金属掩膜版组件，其特征在于：所述支撑用金属掩膜版一组相对的两个侧边分别具有条形边，条形边整体焊接在金属框架上，支撑用金属掩膜版一组相对的两个侧边分别具有间隔设置的支持条，各支持条分别焊接在金属框架上。
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