[实用新型]一种支撑用金属掩膜版和掩膜版组件有效
申请号: | 201920302809.8 | 申请日: | 2019-03-11 |
公开(公告)号: | CN208965015U | 公开(公告)日: | 2019-06-11 |
发明(设计)人: | 王宝 | 申请(专利权)人: | 南京高光半导体材料有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24 |
代理公司: | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人: | 庄沙丽;徐冬涛 |
地址: | 210038 江苏省南京*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 金属掩膜 支撑 本实用新型 一体制作 掩膜版 成型 镂空网格结构 一体成型的 技术支撑 金属框架 精密金属 生产效率 网格结构 一次焊接 有机材料 镂空结构 交叉处 平整度 无缝隙 支撑条 多片 网格 掩膜 合金 拉网 残留 保证 | ||
本实用新型公开了一种支撑用金属掩膜版和掩膜版组件,属于OLED技术领域。一种支撑用金属掩膜版,其是由整张INVAR合金一体制作成型的网格结构,所述支撑用金属掩膜版的网格为镂空结构。本实用新型采用一体制作成型的镂空网格结构的金属掩膜版,完全可以取代现有技术的支撑条,在焊接到金属框架上时,只需要一次拉网,一次焊接,可以大大提高生产效率;而且一体成型的金属掩膜版无缝隙,解决了现有技术支撑条交叉处残留有机材料问题。另外,由于整个支撑用金属掩膜版只有一个厚度,保证后期的多片精密金属掩膜能搭载在同一个平面上,使整个金属掩膜版表面的平整度大大提高。
技术领域
本实用新型涉及一种支撑用金属掩膜版和掩膜版组件,属于OLED技术领域。
背景技术
在有机发光二极管(OLED)的显示面板制造领域中,通常采用蒸镀工艺形成有机发光层,掩膜版是OLED制造过程中的一种重要元器件,单片精密金属掩膜版包括框架、支撑用掩膜版及金属掩膜,这种单片精密掩膜版中,支撑用掩膜版是由多个支撑条横竖交错焊接而成,这种支撑条组成的支撑用掩膜版的结构示意图及仰视图如图1所示。公开号为CN108149192A、公开日为2018年6月12日、名称为“一种金属掩膜版及其制造方法”的中国实用新型专利申请就采用的是交错设置的支撑条,各支撑条交错在一起形成支撑网。这种单片精密金属掩膜版在拼焊时,需要先将支撑条焊接到金属框架上,起到支撑作用,然后在将精密金属掩膜搭载在支撑条上,进行焊接。这种支撑用金属掩膜版通常需要约20条长支撑条、约15条短支撑条,长、短支撑条交叉排列。这种支撑用金属掩膜版存在以下问题:
(1)需要支撑条的数量越多,越要花大量时间进行拉网焊接;
(2)由于交叉排列的支撑条,存在大量缝隙,蒸镀时有机材料会进入这些缝隙中,浪费材料,并且不容易清理;
(3)单条支撑条拼焊,支持条交叉重叠,由于厚度的叠加,导致精密金属掩膜版焊接后表面平整度差异大。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种表面平整、无焊接缝隙的支撑用金属掩膜版。同时,本实用新型还提供一种支撑用金属掩膜版组件。
本实用新型采用如下技术方案:一种支撑用金属掩膜版,其是由整张INVAR合金一体制作成型的网格结构,所述支撑用金属掩膜版的网格为镂空结构。
所述支撑用金属掩膜版的网格为矩形或圆形或半圆形或椭圆形。
所述支撑用金属掩膜版的网格呈矩形阵列分布。
所述支撑用金属掩膜版一组相对的两个侧边分别具有条形边,支撑用金属掩膜版一组相对的两个侧边分别具有间隔设置的支持条。
一种金属掩膜版组件,其包括金属框架和焊接在金属框架上的支撑用金属掩膜版,所述支撑用金属掩膜版是由整张INVAR合金一体制作成型的网格结构,所述支撑用金属掩膜版的网格为镂空结构。
所述支撑用金属掩膜版的网格为矩形或圆形或半圆形或椭圆形。
所述支撑用金属掩膜版的网格呈矩形阵列分布。
所述支撑用金属掩膜版一组相对的两个侧边分别具有条形边,条形边整体焊接在金属框架上,支撑用金属掩膜版一组相对的两个侧边分别具有间隔设置的支持条,各支持条分别焊接在金属框架上。
本实用新型的有益效果是:本实用新型采用一体制作成型的镂空网格结构的金属掩膜版,完全可以取代现有技术的支撑条,在焊接到金属框架上时,只需要一次拉网,一次焊接,可以大大提高生产效率;而且一体成型的金属掩膜版无缝隙,解决了现有技术支撑条交叉处残留有机材料问题。另外,由于整个支撑用金属掩膜版只有一个厚度,保证后期的多片精密金属掩膜能搭载在同一个平面上,使整个金属掩膜版表面的平整度大大提高。
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