[实用新型]一种硅片原料的酸洗装置有效

专利信息
申请号: 201920309809.0 申请日: 2019-03-12
公开(公告)号: CN209736202U 公开(公告)日: 2019-12-06
发明(设计)人: 周建明 申请(专利权)人: 浙江明峰电子科技有限公司
主分类号: B08B3/08 分类号: B08B3/08;B08B3/10;B08B13/00;H01L21/67;H01L21/02
代理公司: 11427 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人: 陈娟<国际申请>=<国际公布>=<进入国
地址: 324300 浙江省衢*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 清洗缸 转动杆 本实用新型 保护壳 转动圈 垫板 圆柱形结构 板式结构 方便清洗 硅片原料 两侧外壁 内壁两侧 清洗效果 设计结构 竖直排布 酸洗装置 轴承转动 十字形 底端 拉杆 通孔 焊接 延伸
【权利要求书】:

1.一种硅片原料的酸洗装置,包括清洗缸(1),其特征在于,所述清洗缸(1)的底端通过轴承转动安装有转动圈(5),转动圈(5)穿设有转动杆(6),所述转动杆(6)的一端延伸至清洗缸(1)内,所述转动杆(6)的一端固定连接有第一放置篮(2),第一放置篮(2)的底部为板式结构,第一放置篮(2)的内壁两侧均固定连接有竖直排布的放置垫板(4),所述第一放置篮(2)的一侧设有第二放置篮(9),第一放置篮(2)和第二放置篮(9)一起组成圆柱形结构,且第一放置篮(2)和第二放置篮(9)靠近放置垫板(4)的两侧外壁均焊接有两个连接块(3),连接块(3)均开设有十字形的通孔,第二放置篮(9)的连接块(3)的一侧均固定安装有保护壳(11),保护壳(11)活动穿设有拉杆(10),拉杆(10)的杆体套设有弹簧(12),拉杆(10)的杆体焊接有挡块,且挡块和弹簧(12)均位于保护壳(11)内,弹簧(12)位于挡块和保护壳(11)的一端内壁之间,拉杆(10)的一端穿过第二放置篮(9)的连接块(3)延伸到另一侧,且拉杆(10)的一端固定连接有卡杆(13),且卡杆(13)的一端还穿过第一放置篮(2)的连接块(3)的通孔。

2.根据权利要求1所述的一种硅片原料的酸洗装置,其特征在于,所述清洗缸(1)的底端外壁焊接有四个支撑杆,四个支撑杆的一端共同固定安装有座板,清洗缸(1)的底端外壁和座板的顶端之间通过轴承转动安装有两个双向螺纹杆(8),双向螺纹杆(8)位于四个支撑杆之间,两个双向螺纹杆(8)之间通过螺纹活动安装有支撑板(7)。

3.根据权利要求2所述的一种硅片原料的酸洗装置,其特征在于,所述转动圈(5)的内孔为矩形结构,转动杆(6)的杆体为四棱柱结构,转动杆(6)与转动圈(5)的内孔相匹配,转动杆(6)的另一端通过轴承与支撑板(7)的顶端转动安装,支撑板(7)的底端固定安装有第一电机,第一电机的输出轴与转动杆(6)的另一端固定连接。

4.根据权利要求2所述的一种硅片原料的酸洗装置,其特征在于,所述转动圈(5)的底端外壁固定安装有第二电机,第二电机的输出轴固定安装有第一齿轮,其中一个双向螺纹杆(8)的杆体固定安装有第二齿轮,第一齿轮与第二齿轮啮合,两个双向螺纹杆(8)的杆体均固定安装有带轮,带轮之间通过皮带连接,皮带位于第一电机的下方。

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