[实用新型]一种具有加热功能的夹取器

权利要求书

1.一种具有加热功能的夹取器，其特征在于，包括

用以夹取清洗槽内的湿晶圆盒（1）的夹取手（2），

以及用以带动夹取手（2）动作的搬送机构；

其中，所述夹取手（2）通过横杆（3）与搬送机构相连接，夹取手（2）包括固定组件和具有加热功能的夹杆（4），所述固定组件安装在横杆（3）上，夹杆（4）安装在固定组件上。

2.根据权利要求1所述的具有加热功能的夹取器，其特征在于，所述固定组件包括支撑块（5）和固定块（6），所述支撑块（5）上开设有第一卡槽（7），固定块（6）上开设有第二卡槽（8），支撑块（5）和固定块（6）通过紧固件固定为一体从而使第一卡槽（7）与第二卡槽（8）组合成一个用以使横杆（3）穿过的槽孔，

所述固定块（6）上纵向开设有固定槽（9），夹杆（4）的端部固定在所述固定槽（9）内。

3.根据权利要求1或2所述的具有加热功能的夹取器，其特征在于，所述夹杆（4）为加热棒，所述加热棒的外侧套设有一层防护层。

4.根据权利要求3所述的具有加热功能的夹取器，其特征在于，所述防护层采用的是PFA塑料。

5.根据权利要求3所述的具有加热功能的夹取器，其特征在于，所述加热棒包括从外向内依次设置的不锈钢外壳（10）、绝缘内胆（11）、发热丝（12）和密封材料层（13），所述密封材料层（13）内设置有热电偶合金丝（14）和用于与发热丝（12）连接的连接导线（15）。

6.根据权利要求5所述的具有加热功能的夹取器，其特征在于，所述加热棒呈U字形。

7.根据权利要求6所述的具有加热功能的夹取器，其特征在于，夹取手（2）上还设置有限位开关（16），所述限位开关（16）通过支撑架（17）固定在支撑块（5）上。

8.根据权利要求7所述的具有加热功能的夹取器，其特征在于，所述限位开关（16）的底部还固定有限位棒（18）。

9.根据权利要求1所述的具有加热功能的夹取器，其特征在于，所述搬送机构包括升降机构（19）、固定在升降机构（19）上的联动夹紧机构（20），所述升降机构（19）和联动夹紧机构（20）均与湿法清洗设备的控制系统电连接。