[实用新型]加工装置

权利要求书

1.一种加工装置，其具有：多个卡盘，其用于保持基板；多个加工轴；其安装有加工工具；加工台，其保持多个所述卡盘，使该卡盘在搬入所述基板的搬入位置与配置有所述多个加工轴的加工位置之间移动；以及多个检测部，其检测保持于各所述卡盘的所述基板的状态；所述加工装置的特征在于，

在所述加工台的上方设有罩部，其覆盖该加工台以及检测部；

在所述罩部设有开口部，与各检测部电连接的布线经由该开口部引出到外部。

2.根据权利要求1所述的加工装置，其特征在于：

在所述开口部与所述布线之间形成有密封部。

3.根据权利要求1所述的加工装置，其特征在于：

所述罩部包括固定罩和能够开闭的开闭罩，所述开口部设于所述固定罩。

4.根据权利要求1所述的加工装置，其特征在于：

在所述加工台的上方设有向加工台的外方延伸的框部，所述布线向所述加工台的上方延伸至所述框部，再借助所述框部向所述加工装置的外方延伸。