[实用新型]一种简易次级电子发射系数测量装置

权利要求书

1.一种简易次级电子发射系数测量装置，包括置于真空玻璃壳体（14）内的次级电子收集罩（4），其特征在于，所述真空玻璃壳体（14）的上端面上设有超高真空接口（1），超高真空接口（1）的下端设有吸气剂（2），真空玻璃壳体（14）的下端面上均匀设有多根用于连接电源的导电芯柱（9），所述次级电子收集罩（4）外侧壁上设有固定钽皮（5），次级电子收集罩（4）上端面上设有孔洞（13），孔洞（13）上端设有电子发热源（3），孔洞（13）的正下方位于次级电子收集罩（4）内设有样品台（6），样品台（6）下端固定有支撑杆（7），所述电子发热源（3）包括热子（11），热子（11）上端连接有钨丝（10），热子（11）下端设有与孔洞（13）处于同一水平高度位置的Ba-W阴极（12），所述吸气剂（2）、钨丝（10）、热子（11）、固定钽皮（5）、支撑杆（7）均经多根固定钽杆（8）分别与多根导电芯柱（9）连接。

2.根据权利要求1所述的一种简易次级电子发射系数测量装置，其特征在于，所述Ba-W阴极（12）的直径为2mm~8mm之间。

3.根据权利要求1所述的一种简易次级电子发射系数测量装置，其特征在于，所述次级电子收集罩（4）直径为1.8cm~2.2cm之间，高度为1cm~1.5cm之间，次级电子收集罩（4）上的孔洞（13）直径为3~9mm之间，且孔洞（13）直径必须大于Ba-W阴极（12）的直径。

4.根据权利要求1所述的一种简易次级电子发射系数测量装置，其特征在于，所述样品台（6）的形状为矩形或圆形，样品台（6）的尺寸小于次级电子收集罩（4）的直径，样品台（6）与电子发热源（3）之间的距离为2mm~15mm之间，样品台（6）应与次级电子收集罩（4）上的孔洞（13）处于同一条垂直中心线上。

5.根据权利要求1所述的一种简易次级电子发射系数测量装置，其特征在于，所述支撑杆（7）位于样品台（6）的底部，用来支撑样品台（6），调节样品台（6）的位置，支撑杆（7）为钼、钽或钨等耐高温金属材料制成。