[实用新型]一种接近式光刻机光学系统

权利要求书

1.一种接近式光刻机光学系统，其特征在于，包括光源模块、导光管、照明镜头模块以及掩模面，所述光源模块的输出光束输入到所述导光管的输入端，所述照明镜头模块用于接收所述导光管的输出光线并输出照明光线，所述照明光线照射在所述掩模面上。

2.如权利要求1所述的一种接近式光刻机光学系统，其特征在于，所述导光管为空心结构。

3.如权利要求2所述的一种接近式光刻机光学系统，其特征在于，所述导光管包括对称的条形平板件和对称的条形凸台板件，两所述条形平板件分别嵌接在所述条形凸台板件的凸台两侧。

4.如权利要求3所述的一种接近式光刻机光学系统，其特征在于，所述条形平板件和所述条形凸台板件均为反射镜，所述条形平板件和所述条形凸台板件的内侧面设有高反射膜。

5.如权利要求1所述的一种接近式光刻机光学系统，其特征在于，所述光源模块包括光源和聚光镜，所述光源的发射光线经过所述聚光镜进行聚光处理形成所述输出光束。

6.如权利要求5所述的一种接近式光刻机光学系统，其特征在于，所述光源模块还包括光纤束，所述输出光束通过所述光纤束传输到所述导光管的输入端。

7.如权利要求5所述的一种接近式光刻机光学系统，其特征在于，所述光源为LED光源。

8.如权利要求2所述的一种接近式光刻机光学系统，其特征在于，所述导光管的口径大于所述光源模块的输出光束。

9.如权利要求1所述的一种接近式光刻机光学系统，其特征在于，所述照明镜头模块包括双远心镜头和反射镜片，所述双远心镜头包括第一物镜和第二物镜，所述第一物镜用于接收所述导光管的输出光线，所述第二物镜用于输出所述双远心镜头的照明光线，所述反射镜片设置在所述第二物镜的光线输入侧或光线输出侧，所述反射镜片用于改变光线的方向以输入到所述第二物镜或改变所述双远心镜头的照明光线方向。