[实用新型]一种接近式光刻机光学系统

说明书

本实用新型提供了一种接近式光刻机光学系统，包括光源模块、导光管、照明镜头模块以及掩模面，所述光源模块的输出光束输入到所述导光管的输入端，所述照明镜头模块用于接收所述导光管的输出光线并输出照明光线，所述照明光线照射在所述掩模面上，使光源模块和导光管之间调试方便，便于组装和维护该光刻机光学系统。

技术领域

本实用新型属于光刻技术领域，更具体地说，是涉及一种接近式光刻机光学系统。

背景技术

在微细加工产业的领域里，光刻机是其中的关键设备之一，而光学系统又是光刻机的重要组成部分，只有高质量的光学系统，才可以充分发挥光刻系统的性能并满足成像系统的需要。

目前，国内外近紫外光刻机光学系统主要使用复眼透镜进行光源匀光，技术方案如下：将高压汞灯作为照明光源，高压汞灯先进行聚光，然后使用准直镜将聚光光束变成近平行光束，接着平行光束通过两片复眼透镜后对平行光束能量重新排布；再接着使用物镜将光能重新排布的平行光束聚集到焦平面，并在焦平面形成光斑。具体的，光斑的大小与复眼透镜单像素尺寸、两个复眼透镜之间的间距、物镜的焦距等有关；光斑的形状与复眼单像素形状一致；光斑的能量均匀分布。

但是，该技术方案存在以下问题：高压汞灯寿命短，需要经常进行更换新的高压汞灯，新的高压汞灯需要重新调试位置，非常麻烦；发热量高，需配套大量散热结构装置；高压汞灯的高热量使靠近高压汞灯的光学器件容易成为易损件；使用复眼透镜对光学零件的位置精度要求高，调试困难。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种接近式光刻机光学系统，以解决现有技术中存在的使用复眼透镜对光学零件的位置精度要求高，调试困难的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：提供一种接近式光刻机光学系统，包括光源模块、导光管、照明镜头模块以及掩模面，所述光源模块的输出光束输入到所述导光管的输入端，所述照明镜头模块用于接收所述导光管的输出光线并输出照明光线，所述照明光线照射在所述掩模面上。

进一步地，所述导光管为空心结构。

进一步地，所述导光管包括对称的条形平板件和对称的条形凸台板件，两所述条形平板件分别嵌接在所述条形凸台板件的凸台两侧。

进一步地，所述条形平板件和所述条形凸台板件均为反射镜，所述条形平板件和所述条形凸台板件的内侧面设有高反射膜。

进一步地，所述光源模块包括光源和聚光镜，所述光源的发射光线经过所述聚光镜进行聚光处理形成所述输出光束。

进一步地，所述光源模块还包括光纤束，所述输出光束通过所述光纤束传输到所述导光管的输入端。

进一步地，所述光源为LED光源。

进一步地，所述导光管的口径大于所述光源模块的输出光束。

进一步地，所述照明镜头模块包括双远心镜头和反射镜片，所述双远心镜头包括第一物镜和第二物镜，所述第一物镜用于接收所述导光管的输出光线，所述第二物镜用于输出所述双远心镜头的照明光线，所述反射镜片设置在所述第二物镜的光线输入侧或光线输出侧，所述反射镜片用于改变光线的方向以输入到所述第二物镜或改变所述双远心镜头的照明光线方向。

本实用新型提供的一种接近式光刻机光学系统的有益效果在于：与现有技术相比，本实用新型的导光管将光源模块的输出光束的能量进行重新排布，导光管的输出光线的光密度是均匀一致的。光源模块和导光管之间的位置调整方便，光源模块和导光管直接机械定位，即只需要将光源模块的输出光束对准导光管的输入端即可，便于对光源模块进行更换。导光管相对于复眼透镜的价格便宜，便于降低制造接近式光刻机光学系统的成本。

附图说明