[实用新型]掩模台、掩模台系统和曝光装置

权利要求书

1.一种掩模台，包括：基座、平衡块、动台，其中，

所述动台适于放置掩模板；

所述平衡块位于基座上，所述平衡块适于使所述动台相对于平衡块无接触移动；其特征在于，所述平衡块的侧壁具有噪声震动检测单元，所述噪声震动检测单元适于检测平衡块的震动或噪音，获得电信号。

2.如权利要求1所述的掩模台，其特征在于，所述噪声震动检测单元至少包括噪声震动传感器，所述噪声震动传感器安装在平衡块的侧壁上，所述噪声震动传感器感应平衡块产生的震动或噪音，产生电信号。

3.如权利要求2所述的掩模台，其特征在于，所述平衡块的侧壁上安装的噪声震动传感器的数量至少为1个。

4.如权利要求3所述的掩模台，其特征在于，所述噪声震动传感器的数量大于等于2个时，噪声震动传感器分别位于平衡块的不同侧壁上或者一个侧壁的不同位置上。

5.如权利要求2所述的掩模台，其特征在于，所述平衡块的侧壁中就具有凹槽，所述噪声震动传感器位于凹槽中，且所述噪声震动传感器与凹槽的底部和四周侧壁接触。

6.如权利要求2所述的掩模台，其特征在于，所述平衡块中具有密闭的空腔，所述噪声震动传感位于密闭的空腔中。

7.如权利要求1所述的掩模台，其特征在于，所述平衡块数量为两块，所述动台位于平衡块之间，所述动台的两侧具有线圈阵列，所述平衡块上相应的具有永磁体阵列。

8.如权利要求7所述的掩模台，其特征在于，每一块平衡块上均具有噪声震动检测单元。

9.如权利要求1所述的掩模台，其特征在于，所述动台包括粗动台和微动台。

10.一种掩模台系统，包括：

如权利要求1～9任一项所述的掩模台，所述掩模台包括基座、平衡块、动台，其中，所述动台适于放置掩模板；所述平衡块位于基座上，所述平衡块适于使所述动台相对于平衡块无接触移动；所述平衡块的侧壁具有噪声震动检测单元，所述噪声震动检测单元适于检测平衡块的震动或噪音，获得电信号；

判断单元，适于基于所述电信号，判断所述平衡块是否存在异常。

11.如权利要求10所述的掩模台系统，其特征在于，所述判断单元根据电信号是否大于信号阈值来判断所述平衡块是否存在异常，若电信号大于信号阈值，则所述判断单元判断平衡块存在异常。

12.如权利要求10所述的掩模台系统，其特征在于，所述判断单元包括伺服单元，所述伺服单元根据噪声震动检测单元实时获得的电信号生成噪音信号曲线。

13.如权利要求12所述的掩模台系统，其特征在于，所述判断单元根据噪音信号曲线的斜率或斜率的变化量判断平衡块是否存在异常，若噪音信号曲线的斜率大于10°或者噪音信号曲线的斜率的变化量大于5°，则所述判断单元判断平衡块存在异常。

14.如权利要求12所述的掩模台系统，其特征在于，所述判断单元根据噪音信号曲线上的至少一个点对应的信号值是否大于设定值判断平衡块是否存在异常，若信号值大于设定值，则所述判断单元判断平衡块存在异常。

15.如权利要求10所述的掩模台系统，其特征在于，还包括报警单元，所述报警单元适于在判断单元判断平衡块存在异常时，给出报警信号。

16.一种包括权利要求1～9任一项所述的掩模台或者权利要求10～15任一项所述的掩模台系统的曝光装置。