[实用新型]自动厚度控制卡盘有效

专利信息
申请号: 201920329058.9 申请日: 2019-03-14
公开(公告)号: CN209902731U 公开(公告)日: 2020-01-07
发明(设计)人: 柳俊圭 申请(专利权)人: 三星钻石工业股份有限公司
主分类号: B23Q3/08 分类号: B23Q3/08
代理公司: 11240 北京康信知识产权代理有限责任公司 代理人: 李罡
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 脆性基板 卡盘 自动厚度控制 铰链接头 变更 本实用新型 高度调整 夹紧作业 压力调整 铰链块 压力夹 底爪 铰接 盘臂 气缸 追加 延伸
【权利要求书】:

1.一种自动厚度控制卡盘,其特征在于,包括:

卡盘臂,一侧形成有铰链接头;

卡盘缸,向气缸的后方突出的铰链块与所述铰链接头铰接结合;以及

底爪,从所述卡盘臂的一侧延伸。

2.根据权利要求1所述的自动厚度控制卡盘,其特征在于,

所述卡盘缸包括:

气缸杆,所述气缸杆的一侧插入所述气缸的前方所形成的贯通孔,通过所述贯通孔进行前进后退动作,并且在进行前进动作时,通过所述贯通孔使所述气缸杆的一侧停止;

气缸接头,设置在所述气缸杆的另一侧;以及

卡盘爪,与所述气缸接头以及所述底爪分别铰接结合。

3.根据权利要求2所述的自动厚度控制卡盘,其特征在于,还包括:

电气调节器,为了所述气缸杆的前进后退动作,调节供给所述气缸的空气的量。

4.根据权利要求3所述的自动厚度控制卡盘,其特征在于,

在从所述电气调节器向所述气缸内供给空气时,所述气缸杆前进,关闭所述卡盘爪的同时夹紧位于所述卡盘爪与所述底爪之间的脆性基板。

5.根据权利要求3所述的自动厚度控制卡盘,其特征在于,

在从所述电气调节器排出所述气缸内的空气时,所述气缸杆后退,打开所述卡盘爪的同时松开位于所述卡盘爪与所述底爪之间的脆性基板。

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