[实用新型]自动厚度控制卡盘

说明书

一种自动厚度控制卡盘，其目的在于，在进行对于脆性基板的夹紧作业时，通过以压力调整代替高度调整来应对脆性基板的厚度变更，从而即使脆性基板的厚度发生变更，也能够在未进行另外的追加作业的情况下，以规定的压力夹紧脆性基板。为了实现上述目的，本实用新型所涉及的自动厚度控制卡盘包括在一侧形成有铰链接头(12)的卡盘臂(10)、在气缸(21)的后方突出的铰链块(27)与所述铰链接头(12)铰接结合的卡盘缸(20)以及从所述卡盘臂(10)的一侧延伸的底爪(11)。

技术领域

本实用新型涉及自动厚度控制卡盘，更加详细地，在进行对于脆性基板的夹紧作业时，通过以压力调整代替高度调整来应对脆性基板的厚度变更的自动厚度控制卡盘。

背景技术

一般情况下，作为脆性基板的分割装置，使用划线装置以及折断装置。在基板形成划线道时使用划线装置，在折断预先形成有划线道的基板时使用基板的折断装置。

以往，在利用上述的划线装置在脆性基板形成划线道时，为了进行精密的刻划，利用夹紧装置夹紧(clamping)以防止脆性基板活动。

这样的现有的夹紧装置是在上表面被固定的状态下，下表面卡紧(chucking)从而进行夹紧的装置。

但是，在这样夹紧脆性基板的现有的夹紧装置，存在在输送带上输送脆性基板的过程中，由于输送带的品质(level)偏差，脆性基板的被夹紧部分出现破损的问题。

并且，现有的夹紧装置中存在每当脆性基板的厚度变更时，操作者需要一边变更基准高度一边应对的问题。

为此，本实用新型是为了解决上述要求做出的，本实用新型的目的在于提供自动厚度控制卡盘，在进行对于脆性基板的夹紧作业时，通过以压力调整来代替高度调整而应对脆性基板的厚度变更，从而即使脆性基板的厚度发生变更，在未进行另外的追加作业的情况下，能够以规定的压力夹紧脆性基板。

实用新型内容

为了实现上述目的，根据本实用新型的自动厚度控制卡盘，其特征在于，包括：卡盘臂，一侧形成有铰链接头；卡盘缸，向气缸的后方突出的铰链块与所述铰链接头铰接结合；以及底爪，从所述卡盘臂的一侧延伸。

并且，在根据本实用新型的自动厚度控制卡盘中，其特征在于，所述卡盘缸包括：气缸杆，所述气缸杆的一侧插入所述气缸的前方所形成的贯通孔，通过所述贯通孔进行前进后退动作，并且在进行前进动作时，通过所述贯通孔使所述气缸杆的一侧停止；气缸接头，设置在所述气缸杆的另一侧；以及卡盘爪，与所述气缸接头以及所述底爪分别铰接结合。

并且，根据本实用新型的自动厚度控制卡盘，其特征在于，还包括：电气调节器，为了所述气缸杆的前进后退动作，调节供给所述气缸的空气的量。

并且，根据本实用新型的自动厚度控制卡盘，其特征在于，在从所述电气调节器向所述气缸内供给空气时，所述气缸杆前进，关闭所述卡盘爪的同时夹紧位于所述卡盘爪与所述底爪之间的脆性基板。

并且，根据本实用新型的自动厚度控制卡盘，其特征在于，在从所述电气调节器排出所述气缸内的空气时，所述气缸杆后退，打开所述卡盘爪的同时松开位于所述卡盘爪与所述底爪之间的脆性基板。

根据本实用新型，有可以提供如下自动厚度控制卡盘的效果：在进行对于脆性基板的夹紧作业时，通过以压力调整代替高度调整来应对脆性基板的厚度变更，从而即使脆性基板的厚度发生变更，也能够在未进行另外的追加作业的情况下，以规定的压力夹紧脆性基板。

附图说明

图1是示出根据本实用新型一实施例的自动厚度控制卡盘的结合构成的结合立体图。

图2是示出根据本实用新型一实施例的自动厚度控制卡盘的拆分样子的拆分立体图。